公开(公告)号：CN1727837A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200510076692.9

申请日：2005-06-13

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 凯文·R·费恩 ,  格雷格·C·菲利克斯 ,  约翰·J·伯克曼 ,  道格拉斯·P·伍尔韦尔托

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01J9/0215 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02051 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

Abstract: 本发明公开了一种产生期望的光束模式的差分干涉仪。干涉仪系统包括菱形组件，该组件具有第一光学堆和安装在第一堆上的第二光学堆。第一堆包括具有斜面的第一棱镜，该斜面安装到第二棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第一偏振分束器。第二堆包括具有斜面的第三棱镜，该斜面安装到第四棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第二偏振分束器。第一、第二、第三和第四波片元件位于菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中至少一个之间的光束路径中。重定向光学元件至少与第一和第三棱镜的垂直面相邻。