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公开(公告)号：CN117921451A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410338006.3
申请日：2024-03-25
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明提供了一种石英环及其加工工艺。加工工艺包括以下步骤：S100、将石英原料进行切割，得到石英环胚料；S200、采用第一研磨剂对石英环胚料进行粗磨处理，得到石英环粗抛料；S300、对石英环粗抛料进行加工处理、洗净处理，得到石英环初品；S400、采用第二研磨剂对石英环初品进行精磨处理，得到石英环粗品；S500、将石英环粗品进行检测处理，清洗处理，得到石英环。本发明通过采用研磨剂对石英环进行打磨，一方面可以批量进行，提高加工效率；同时，研磨液有助于提高工件的表面质量，减少划痕和其他缺陷；另一方面，研磨液用作冷却剂和润滑剂，降低研磨过程中的摩擦和热量产生，有助于防止工件的过热，提高寿命，并减少热变形对工件的影响。
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公开(公告)号：CN117623600A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311597174.6
申请日：2023-11-27
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： C03B20/00 , C03B23/207 , C03B23/20
摘要： 本申请公开了一种石英产品的熔接装置，石英产品包括石英管以及石英盘，石英产品的熔接装置包括：机架；转动组件，转动安装在机架上，转动组件具有供石英管的下端插入的环形槽，转动组件转动时能够带动石英管一起转动；驱动组件，设于机架上，用于驱动转动组件转动；转动电机，位于转动组件的上方，转动电机的输出轴用于与石英盘连接，带动石英盘转动；升降元件，位于转动电机的上方，用于带动转动电机和石英盘上下移动；熔接组件，设于机架上，熔接组件具有对准石英管上端的第一加热喷头。本申请中，加热喷头能够喷射火焰，加热石英管的上端和石英盘的周沿，使石英管和石英盘能够熔融熔接在一起，实际运用时，火焰的燃料可以为氢气。
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公开(公告)号：CN116330126A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310333348.1
申请日：2023-03-28
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了石英深孔球底加工方法，包括以下几个步骤：用平底刀具在石英工件上加工出深孔；向深孔中加入适量的研磨液，用球底刀具在石英工件上深孔底部继续加工出球底孔，该加工方法球使得形刀具不直接接触石英工件，借助研磨砂的切屑力进行切屑，使得切屑效果大大增强，也减少了球形刀具的磨损，提高产品加工良率，保证球底加工相对规则以及产品加工后的一致性。
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公开(公告)号：CN116100668A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310326976.7
申请日：2023-03-24
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种成型陶瓷大直径环形制品用湿式等静压模具，包括第一刚性筒、第二刚性筒和柔性膜套，第一刚性筒安装在底板上，柔性膜套以第一刚性筒为中心且环绕分布在第一刚性筒外侧，柔性膜套远离第一刚性筒的一侧与第二刚性筒密封相连并在柔性膜套和第二刚性筒之间形成有填充料体用的密封腔，柔性膜套设有与密封腔相连通的至少一个加料口，加料口设有弹性塞头，第二刚性筒的上端和下端设有朝靠近柔性膜套方向下凹的收口，柔性膜套靠近第二刚性筒位置设有折叠褶皱段，柔性膜套的折叠褶皱段抵住第二刚性筒上收口部分的内壁，柔性膜套具有弹性，该模具能够保证毛坯外径尺寸达到最大化，扩大模具内径尺寸成型范围。
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公开(公告)号：CN115745384A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211474017.1
申请日：2022-11-22
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： C03B25/00
摘要： 本发明公开了一种厚石英产品的退火方法，包括以下几个步骤：将经过火抛光后的厚石英产品放入退火炉内，在1100～1200℃的炉内温度下保温5.8～6.2h；在4.2～5.7h内将厚石英产品温度降低至780～810℃，之后随炉冷却至490～500℃后取出，完成退火，其中，厚石英产品为厚度不低于20mm的石英产品，控制厚石英产品在退火炉中的特定保温时间、特定降温速率，最大程度降低厚石英产品内部应力，避免产品开裂。
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公开(公告)号：CN112171412B
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202011086319.2
申请日：2020-10-12
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
发明人： 陈福育
摘要： 本发明公开了一种半导体材料生产技术设备，其结构包括设备主体、控制器、套轴、侧除装置、支架、抛光件、液压轴。有益效果：本发明利用设有的柔护机构，对晶片过程中产生的晶片屑在挡扣的配合下，进行侧边隔挡，以防止晶片打磨产生的废屑在旋转设备旋转的配合下，呈堆积状滞留在晶片侧边表面，不利于该废屑被设备吸收，从而导致滞留侧边的废屑对晶片在持续的抛光过程中，被反卷至晶片表面，导致晶片表面打磨度不整，本发明配合设有的纳堆结构，在柔除件于其贯穿相连接的作用下，对捋除后的侧边废屑进行集中性的吸收处理，以避免其滞留在晶片侧边表面。
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公开(公告)号：CN112923898A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110089666.9
申请日：2021-01-22
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
发明人： 冯剑秋
IPC分类号： G01B21/30
摘要： 本发明公开了一种粗糙度检测工装，包括机架、锁止装置、粗糙度检测装置、转台和升降台，转台转动相应角度后锁止装置可卡住转台，所述粗糙度检测装置包括刻度盘、测量台和粗糙度仪，所述刻度盘正面设有刻度和刻度值，刻度盘背面设有连接杆，连接杆和升降座一侧可拆卸连接，所述测量台与刻度盘正面之间用旋转齿轴，所述测量台上设有带标志箭头的立柱，所述测量台绕着旋转齿轴转动一定角度后固定使得测量台和刻度盘之间成一夹角，所述夹角与标志箭头指向刻度盘上的刻度值相等，所述测量台上配合安装有可水平翻转放置的粗糙度仪。本发明具有可根据测量需求全方位调整粗糙度仪测量位置，测量准确度高，调节操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN112917715A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110089661.6
申请日：2021-01-22
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种浸润式的石英产品切割装置，包括底座、切削液盘、切割机构、冷却过滤装置、金刚石线锯，移动平台可滑动安装在底座上，所述切削液盘上设有凹槽，冷却过滤装置和切削液盘之间用进液管和出液管相连，冷却过滤装置包括箱体、离心机、过滤机和冷却装置，切屑液盘安装在移动平台上，移动平台上设有与转台相连的转台驱动装置，所述底座上安装有支撑架，支撑架两侧安装有可转动的转轮，所述金刚石线锯呈封闭环形且环形两端绕在两个转轮上，通过控制转轮的转动、移动平台的移动情况可控制石英产品的切割，切削液没过金刚石线锯切割位置。本发明具有切割表面平整、无崩边和破碎层，切割效率和良品率高，排屑冷却效果好等优点。
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公开(公告)号：CN112277176A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011178253.X
申请日：2020-10-29
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
发明人： 卢旭彬
摘要： 本发明公开了一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：（1）清洁石英定盘和待加工的石英产品的表面；（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；（3）将石英定盘和待加工的石英产品分别加热至65℃以上；（4）在石英定盘上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；（5）将待加工的石英产品放置到石英定盘的粘蜡区域内；（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面；优点是有利于提高加工精度，且不会留下接刀痕。
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公开(公告)号：CN111761746A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN202010522176.9
申请日：2020-06-10
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
发明人： 胡龙辉
摘要： 本发明公开了一种弧形石英产品加工治具及加工方法，弧形石英产品加工治具包括底座，所述的底座上固定设置有固定块，所述的固定块的上部形成整体沿左右方向倾斜的内凹弧面，所述的内凹弧面与弧形石英产品的外弧面配合，所述的固定块上位于所述的内凹弧面的底端处设置有向上凸起的挡块；优点是有利于提高加工效率。
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