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公开(公告)号：CN1227388C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN01820980.7
申请日：2001-10-23
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 东陶机器株式会社
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C30/00 , C23C24/04 , Y10T428/249967 , Y10T428/26 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , Y10T428/31681
Abstract: 一种构成物，是这样构成的：将陶瓷或准金属等的脆性材料的结晶及金属等的延展性材料的结晶或微细组织(非结晶金属层或有机物组成的微细结构体)分散，上述构成物(由脆性材料组成的部分)是多结晶，构成上述构成物的结晶实质上没有结晶取向性，另外，在上述结晶彼此的界面上实质上不存在玻璃质组成的晶粒边界层。因此，能得到不伴随加热、烧成工序的有新颖特性的脆性材料与延展性材料的构成物。
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公开(公告)号：CN1481451A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN01820980.7
申请日：2001-10-23
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 东陶机器株式会社
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C30/00 , C23C24/04 , Y10T428/249967 , Y10T428/26 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , Y10T428/31681
Abstract: 一种构成物，是这样构成的：将陶瓷或准金属等的脆性材料的结晶及金属等的延展性材料的结晶或微细组织(非结晶金属层或有机物组成的微细结构体)分散，上述构成物(由脆性材料组成的部分)是多结晶，构成上述构成物的结晶实质上没有结晶取向性，另外，在上述结晶彼此的界面上实质上不存在玻璃质组成的晶粒边界层。因此，能得到不伴随加热、烧成工序的有新颖特性的脆性材料与延展性材料的构成物。
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公开(公告)号：CN108069718B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201710889750.2
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供包含钇氧氟化物且可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有菱面体晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝13.8°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r1，在衍射角2θ＝36.1°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r2，比值γ1为γ1(％)＝r2/r1×100时，所述比值γ1为0％以上、小于100％。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101218188A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200680024762.9
申请日：2006-07-13
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/50
CPC classification number: C04B35/505 , C04B2235/3409 , C04B2235/3821 , C04B2235/386 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/9669 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供一种高密度且耐等离子体性优异的氧化钇(Y2O3)烧结体。氧化钇(Y2O3)烧结体构成如下：作为该烧结体的构成晶体，含有氧化钇(Y2O3)晶体和Y3BO6晶体。为了获得该氧化钇(Y2O3)烧结体，在氧化钇(Y2O3)粉末中，以换算成氧化硼(B2O3)为0.02wt以上且不足10wt％的比例添加硼化合物，对该混合粉末进行成型后，在1300℃以上且不足1600℃下使其烧结。
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公开(公告)号：CN101218188B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200680024762.9
申请日：2006-07-13
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/50
CPC classification number: C04B35/505 , C04B2235/3409 , C04B2235/3821 , C04B2235/386 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/9669 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供一种高密度且耐等离子体性优异的氧化钇(Y2O3)烧结体。氧化钇(Y2O3)烧结体构成如下：作为该烧结体的构成晶体，含有氧化钇(Y2O3)晶体和Y3BO6晶体。为了获得该氧化钇(Y2O3)烧结体，在氧化钇(Y2O3)粉末中，以换算成氧化硼(B2O3)为0.02wt以上且不足10wt％的比例添加硼化合物，对该混合粉末进行成型后，在1300℃以上且不足1600℃下使其烧结。
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公开(公告)号：CN108069717A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201710888647.6
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°附近检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°附近检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、150％以下。
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公开(公告)号：CN108069718A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201710889750.2
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供包含钇氧氟化物且可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有菱面体晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝13.8°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r1，在衍射角2θ＝36.1°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r2，比值γ1为γ1(％)＝r2/r1×100时，所述比值γ1为0％以上、小于100％。
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公开(公告)号：CN108069717B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201710888647.6
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°附近检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°附近检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、150％以下。
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