公开(公告)号：CN116659558A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202310104783.7

申请日：2023-02-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01D11/00 ,  G01L1/04 ,  G01L7/08

Abstract: 本发明提供能够防止在绝缘膜缘部产生裂纹、剥离的带绝缘膜的金属部件、物理量传感器和压力传感器。带绝缘膜的金属部件包括：具有膜形成面和连接面的金属部件，其中，上述连接面朝向与上述膜形成面不同的方向且与上述膜形成面连接；绝缘膜，其跨上述膜形成面与上述连接面的连接位置覆盖上述膜形成面和上述连接面的至少一部分；和加强部，其沿着上述绝缘膜中覆盖上述连接位置的部分即绝缘膜缘部形成，从与上述金属部件相反的一侧覆盖上述绝缘膜缘部的至少一部分。

公开(公告)号：CN114303047A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202080061192.0

申请日：2020-08-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/04

Abstract: 本发明提供适于小型化的传感器元件。本发明的压力传感器元件具有：金属板；绝缘膜，其以在作为所述金属板的一个表面的第一表面形成所述第一表面被覆盖的覆盖区域和所述第一表面露出的露出区域的方式设置；以及压力检测电路，其以通过所述绝缘膜相对于所述第一表面绝缘的方式，形成于所述绝缘膜。