公开(公告)号：CN115145060A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210295016.4

申请日：2022-03-24

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 田家裕 ,  长瀬健司 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02F1/035

Abstract: 本发明涉及一种电光器件。电光器件具备基板、形成于基板上的光波导、以覆盖光波导的方式形成于基板上的缓冲层、以及形成于缓冲层上的电极，在从光的传播方向观察时，光波导的侧面具有至少一个的斜率变化点。根据本发明，能够提供一种既能够降低驱动电压又能够减少光的传播损失的电光器件。

公开(公告)号：CN115087914A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202180014262.1

申请日：2021-01-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 岩塚信治 ,  原裕贵 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武 ,  田家裕 ,  长瀬健司

IPC: G02F1/035 ,  G02B6/122

Abstract: 本发明提供降低光的传播损失且抑制DC漂移的光波导元件。光波导元件(1)包括：基板(10)；光波导，其由形成在基板(10)上的薄膜构成，具有作为突出的部分的脊部和具有比脊部薄的膜厚的平板部。光波导包含：第1波导部，其具有第1脊宽度(W1)和第1平板膜厚(Tsb1)；第2波导部，其具有第2脊宽度(W2)和第2平板膜厚(Tsb2)；第1中间波导部，其与第1波导部连接，具有第3脊宽度(W1C)和第1平板膜厚(Tsb1)；第2中间波导部，其与第2波导部连接，具有第4脊宽度(W2C)和第2平板膜厚(Tsb2)，第1波导部、第1中间波导部、第2中间波导部、第2波导部按该顺序配置，第2平板膜厚(Tsb2)比第1平板膜厚(Tsb1)厚，第3脊宽度(W1C)比第4脊宽度(W2C)宽。

公开(公告)号：CN114326250A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202011049924.2

申请日：2020-09-29

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 长瀬健司 ,  田家裕 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02F1/225 ,  G02F1/035

Abstract: 本发明提供一种光调制器，其具备：基板；形成于基板上的多个电光材料层；以及形成于电光材料层上的电极，电光材料层具有施加调制信号并图形化的RF部波导和施加直流偏压信号并图形化的DC部波导，在垂直于光的传播方向的截面上，DC部波导的截面积大于RF部波导的截面积。根据本发明的光调制器，能够抑制直流漂移。

公开(公告)号：CN113467109A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202010243496.0

申请日：2020-03-31

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 田家裕 ,  长瀬健司 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/03

Abstract: 本发明涉及一种光调制器。光调制器具备基板、形成于基板上的光波导、经由第一缓冲层而形成于光波导上且对光波导施加调制信号的信号电极、以及经由第二缓冲层而形成于光波导上且对光波导施加DC偏压的偏压电极，第一缓冲层和第二缓冲层以在第一缓冲层和第二缓冲层的边界部上，第一缓冲层和第二缓冲层中的任意的一方的缓冲层覆盖另一方的缓冲层的端面的方式形成。根据本发明，能够提供一种可靠性高的光调制器。

公开(公告)号：CN118732158A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202310327446.4

申请日：2023-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 田家裕 ,  长瀬健司 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/12 ,  G02F1/035 ,  G02F1/03

Abstract: 本发明的光学器件具有：基板，其具有主面、以及与主面邻接的端面，基板包括从基板的主面隆起的隆起部；以及光波导，其形成于基板，并在端面具有光入射端或光出射端。光入射端和/或光出射端的光波导形成于隆起部上。相比于通常的在平坦的基板上形成光波导的光学器件，本发明的光学器件的光波导形成于隆起的基板上，光波导和基板界面所成的角度变得平缓。由此，在通过切割或磨削等机械加工手段进行加工时，在光波导和基板的界面处不易产生应力集中，从而避免因加工负荷损伤光学器件而造成的剥离发生率上升。

公开(公告)号：CN116931298A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202210330419.8

申请日：2022-03-31

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 长瀬健司 ,  田家裕 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02F1/035 ,  G02B6/122

Abstract: 本发明提供一种光学器件与光调制器，所述光学器件具备光波导，在形成所述光波导的板状或膜状的电光材料的表面中，以0.1×0.1μm的范围，在光波导的延伸方向选取3处，在光波导的宽度方向选取2处，共计6处，通过原子力显微镜测定表面粗糙度RMS，这些RMS的平均值为5.1nm以下。根据本发明的光学器件，能够抑制在光波导上产生微裂纹，从而减小光的传输损耗。

公开(公告)号：CN116931166A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202210330416.4

申请日：2022-03-31

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 长瀬健司 ,  田家裕 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122

Abstract: 本发明提供一种光学器件，其具备：基板；光波导，其设置于所述基板上的规定区域并由电光材料膜形成；保护层，其邻接于所述光波导而形成；以及未透光的光波导，其设置于所述规定区域外，所述未透光的光波导的表面粗糙度为RMS0.5nm以上。根据本发明的光学器件，能够抑制在光波导上产生微裂纹，从而减小光的传输损耗。

公开(公告)号：CN116438484A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202180066547.X

申请日：2021-09-29

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 田家裕 ,  长瀬健司 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武

IPC: G02F1/035

Abstract: 本发明提供一种电光器件，其具备：基板(1)、形成于基板(1)上的光波导(10a,10b)、以及形成于光波导上的上部电极(7,8)，电光器件还具备形成于基板和上部电极之间的缓冲层(31,33)，光波导(10a,10b)和缓冲层(31)的边界部形成与光波导和缓冲层不同组成的氧化物层(32)。根据本发明的电光器件，能够抑制光的传播损耗。

公开(公告)号：CN115004086A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202180011229.3

申请日：2021-01-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： A·R·M·宾拉奥 ,  王进武 ,  田家裕 ,  长瀬健司 ,  岩塚信治 ,  原裕贵

IPC: G02F1/035 ,  G02B6/122

Abstract: 本发明提供一种光调制元件，其能够兼顾低驱动电压化和DC漂移的抑制。光调制元件(1)具备：基板(10)；以及光波导，其由形成于基板(10)上的电光材料膜构成，具有作为突出的部分的脊部(11r)和具有比脊部(11r)薄的膜厚的平板部(11s)。光波导包含：第一波导部，其具有第一脊宽度(W1)和第一平板膜厚(Tsb1)，被施加RF信号；第二波导部，其具有第二脊宽度(W2)和与第一平板膜厚(Tsb1)不同的第二平板膜厚(Tsb2)，被施加DC偏置。

公开(公告)号：CN113467110A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202010243505.6

申请日：2020-03-31

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 长瀬健司 ,  A·R·M·宾拉奥 ,  王进武 ,  田家裕

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/03

Abstract: 本发明涉及一种电光器件。电光器件具有光波导以及配置于光波导上的上部电极，光波导在平面上折返而形成，上部电极通过光波导的折返而具有相邻的相邻部，在相邻部间的相较于上部电极更上位的上位层具有金属层。或者，电光器件具有多个马赫曾德尔光波导，马赫曾德尔光波导具有第一光波导以及第二光波导，在第一光波导上配置有第一上部电极，在第二光波导上配置有第二上部电极，在第一上部电极和第二上部电极之间的相较于上部电极更上位的上位层具有金属层。根据本发明，能够提供一种能够抑制元件间的电气串扰并且能够谋求宽频带化的电光器件。