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公开(公告)号：CN1876894A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610087980.9
申请日：2006-06-09
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01J27/16 , H01J37/32357
Abstract: 离子源14具备：形成有开口30a的放电容器30、设置在放电容器30外且用于在放电容器30内生成等离子体33的线圈32、将在放电容器30内生成的等离子体33中的离子从开口30a引出并产生离子束26的引出电极35、向线圈32供给电力的电力供给装置42、以及能将从电力供给装置42输出的输出功率P的值维持在预先设定且使离子束26的离子束强度的径向分布均匀的值P0，同时能使输出功率P在规定期间反复停止的控制装置44。
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