MEMS传声器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110876107A

    公开(公告)日:2020-03-10

    申请号:CN201910806650.8

    申请日:2019-08-29

    Abstract: 本发明的MEMS传声器(10)包括基板(20)以及设置在基板(20)上、将声音转换成电信号的第1转换部(10A)和第2转换部(10B),第1转换部(10A)具有第1贯通孔(21A)、覆盖第1贯通孔(21A)的第1膜片(30A)和隔着第1气隙(G1)与第1膜片(30A)面对面的第1背板(40A),第2转换部(10B)具有第2贯通孔(21B)、覆盖第2贯通孔(21B)的第2膜片(30B)和隔着第2气隙(G2)与第2膜片(30B)面对面的第2背板(40B),在基板(20)的厚度方向上,第2气隙(G2)的尺寸(T2)大于第1气隙(G1)的尺寸(T1)。

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