公开(公告)号：CN100449697C

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200510083212.1

申请日：2005-07-07

Applicant: NEC液晶技术株式会社

Inventor： 田中宏明

IPC: H01L21/288 ,  H01L21/768 ,  H05K3/10 ,  C23C24/08

CPC classification number: H01L21/76838 ,  H01L21/288 ,  H05K3/125 ,  H05K3/1258 ,  H05K2203/013 ,  H05K2203/0568 ,  H05K2203/0577 ,  H05K2203/0594

Abstract: 在绝缘基板上形成光致抗蚀剂图案以便其具有倒锥形截面和将要形成的布线图案的反图案。接着，用墨水喷射系统将含纳米颗粒的墨水注入在布线区域上，之后跟随着夷平工艺、干燥工艺、抗蚀剂分离工艺和烘焙工艺。这样形成了布线图案。

公开(公告)号：CN100370349C

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200410054443.5

申请日：2004-07-22

Applicant: NEC液晶技术株式会社

Inventor： 田中宏明 ,  安田亨宁 ,  铃木圣二

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786 ,  H01L21/00

CPC classification number: G02F1/13458 ,  G02F1/136286 ,  G02F2001/13629 ,  H01L27/124 ,  H01L29/456 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66765 ,  H01L29/78669 ,  H01L29/78678

Abstract: 对于薄膜晶体管电路器件来说需要一种薄膜晶体管电路器件及其制造方法，其中该器件包括的布线结构是在下层中为铝合金和在上层中为钼合金，其中钼合金在空气中的腐蚀不易进行。薄膜晶体管电路器件暴露出被绝缘膜所覆盖的布线部分和在所暴露的表面上包含有由引脚电极金属所形成的引脚，该器件在暴露的表面上包含引脚，该引脚是由引脚电极金属形成的，其中的绝缘膜将形成于衬底的中心部分的主电路区的薄膜晶体管与形成于衬底外围的保护电路区连接起来，并且其中布线的最上层表面是含铌的钼合金。

公开(公告)号：CN1310339C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200410028747.4

申请日：2004-03-15

Applicant: NEC液晶技术株式会社

Inventor： 田中宏明

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/66757 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/78675 ,  Y10S438/91 ,  Y10S438/958

Abstract: 在本发明提供的TFT(薄膜晶体管)中，供氢层能够形成在使氢的扩散距离缩短且不增加光刻法的位置处。在TFT中，用于使氢扩散到存在于多晶硅薄膜和栅绝缘膜界面处的悬空键中的供氢层形成在栅绝缘膜和栅电极之间的位置处。根据该结构，在氢化过程中，氢的扩散距离可以缩短，在不花费大量热处理时间的情况下可以充分进行氢化。

公开(公告)号：CN1251012C

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN02132129.9

申请日：2002-08-30

Applicant: NEC液晶技术株式会社

Inventor： 桥本宜明 ,  田中宏明 ,  木村茂 ,  城户秀作

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1343 ,  H01L29/786

Abstract: 一种用来制造液晶显示器的方法，该方法提供宽视角、缩短制造过程和提供高可靠性。该方法包括形成栅极金属层、栅极绝缘层和a-硅层并且通过光刻制图形成岛的过程、形成层间绝缘膜和漏极金属层并且通过光刻制图形成漏极线的过程、形成有机的绝缘膜并且借助光刻在规定的位置形成用来提供与源极和漏极连接的有机绝缘触点的过程、以及形成透明的导电膜并且通过光刻制图形成像素电极和公共电极的过程。

公开(公告)号：CN1479138A

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：CN02132130.2

申请日：2002-08-30

Applicant: NEC液晶技术株式会社

Inventor： 前田明寿 ,  安田亨宁 ,  田中宏明 ,  城户秀作

IPC: G02F1/1333 ,  G02F1/1343

Abstract: 本发明提供了一种用于制造反射型液晶显示器的方法，它能够减少反射型液晶显示器中所使用的薄膜晶体管的制造工序的数目。在这种液晶显示器中，待与薄膜晶体管的源极连接的反射电极以及待与终端部分下层金属膜连接的终端部分连接电极被同时形成在含有多个凸起和凹入部分的有机绝缘膜上。作为反射电极和终端部分下层金属膜的材料，本发明采用了含有0.9％原子或更多Nd的Al－Nd(铝－钕)合金，它具有优良的抗腐蚀特性。