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公开(公告)号：CN204385291U
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201420833951.2
申请日：2014-12-25
Applicant: 贵州大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/38
Abstract: 本实用新型公开了一种制备硼化镁超导薄膜的装置，它包括沉积腔室，鼓泡计通过管道与沉积腔室连通，混气装置通过管道与沉积腔室连通，沉积腔室与废气处理装置连通；本实用新型解决了现有技术在制备多层MgB2超导薄膜存在工艺复杂，制备成本高，而且样品转移过程中容易受到外界污染使成品超导特性退化等问题。
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