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公开(公告)号：CN215782313U
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202121845598.6
申请日：2021-08-09
Applicant: 苏州耘林芯半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和中心龙骨，上安装板上设置有中心通孔，中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，支撑杆位于连接螺杆的外侧，连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，中心龙骨的外部套装有滤料筒，滤料筒由折叠的滤料围成，滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。该滤芯组件能够满足MOCVD系统中的尾气过滤，使用寿命更长。
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