混合光刻系统及混合光刻方法

    公开(公告)号:CN106681106A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201710206374.2

    申请日:2017-03-31

    CPC classification number: G03F7/70383 G03F7/70408 G03F7/7045

    Abstract: 一种混合光刻系统,包括光源、光束整形器、光场调制器、反射镜、成像光学系统和位相器件,光束整形器用于整形光源发出的光束;光场调制器用于将整形后的光束生成图形光;成像光学系统和反射镜用于将光场传递至待曝光的光刻件表面实现直写光刻;位相器件用于在光刻件的表面形成干涉曝光场实现干涉光刻。本发明的混合光刻系统具有直写光刻和干涉光刻两种功能,可进行混合光刻,提高了纳米光刻效率,推动微纳结构相关的器件和材料应用具有重要意义。本发明还涉及一种的混合光刻方法。

    一种头戴式三维显示装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106371218A

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:CN201610970307.3

    申请日:2016-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种头戴式三维显示装置,包括图像生成装置,和对应眼睛的可视镜片,所述可视镜片上设有至少一层设置有具有会聚成像功能的纳米结构功能薄膜,从而使得可视镜片成为具有光场变换功能的指向性功能镜片,所述指向性功能镜片上的纳米结构与图像生成装置输出的图像匹配,在人眼前方投射出会聚波面,形成虚拟景象;或该会聚波面与现实景象形成的波面叠加,得到真实世界信息和虚拟世界信息的融合。本发明在眼球前方的空间中会聚视角图像,形成虚拟景象,其和现实景物在人眼中成像的原理一致,因此长时间观看的视觉疲劳度比传统的三维显示技术大大降低。

    彩色动态图的激光打印装置及方法

    公开(公告)号:CN104191825B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201410448548.2

    申请日:2014-09-04

    CPC classification number: B41M3/148 B41J2/442 B41M5/267 G02B3/0056 G02B5/128

    Abstract: 本发明公开了一种彩色动态图的激光打印装置及方法,其中,彩色动态图的激光打印装置包括:光学系统和记录材料,记录材料包括由多个微球或微透镜形成的折光层、形成于多个微球或微透镜焦面上的遮光层;光学系统包括激光器和图形生成器件,激光器发出的激光经图像生成器件处理后,照射到记录材料上,照射到记录材料上的激光经折光层聚焦在遮光层上,当聚焦的激光的能量大于遮光层的蒸发阈值时,遮光层上相应形成聚焦点。通过本发明的彩色动态图的激光打印装置对激光束入射角度的偏转,在记录材料的焦面上形成不同位置的激光聚焦点,实现不同颜料的热堆积。重复入射角度的偏转,形成多通道颜色图形的激光打印,最终形成彩色多通道动态图像的再现。

    光学加工系统和方法
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102591159B

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201210076397.3

    申请日:2012-03-21

    Abstract: 本发明公开了一种光学加工系统,包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统、位置补偿系统和光源。其中,位置补偿系统包括位置检测系统、空间光调制器、位置信号处理模块和偏差筛选模块。本发明的光学加工系统中,加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动,光学模板实现第三运动轴的扫描运动,通过空间光调制器对第二运动轴方向上的曝光位置进行动态补偿,实现了第二运动轴和第三运动轴这两个扫描轴的精确高速同步,从而能够以“两轴扫描、一轴步进”的方式实现三维加工,其加工效率和加工精度大幅提升。

    一种彩色滤光片
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101546004B

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN200910031267.6

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 本发明公开了一种彩色滤光片,主要由基板、黑色矩阵、彩色滤光层、保护膜和ITO导电膜组成,其特征在于:所述彩色滤光层为级联亚微米光栅,由二维亚微米级介质光栅和金属光栅级联构成,所述介质光栅位于近基板侧,介质材料的折射率大于1.65,所述金属光栅位于远离基板侧,同一位置的上、下两种光栅除光栅深度外的结构参数相同;通过不同的光栅结构参数获得不同颜色的光栅单元。本发明的彩色滤光片TE、TM偏振光下的透射光谱特性相同,光能利用率高,提高输出光的纯度,能进行超大幅面的制造,便于批量化生产,且便于设计为柔性可控的彩色滤光片。

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