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公开(公告)号:CN203519648U
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201320381990.9
申请日:2013-06-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01R1/02
Abstract: 本实用新型提供输送装置以及检查装置。本实用新型的输送装置具有:基部;被固定于基部的第一支承部;被支承于第一支承部的吸附管嘴;能够相对于第一支承部在Y方向移动的第一移动部;被支承于第一移动部的吸附管嘴;能够在基部沿X方向移动的第二支承部;被支承于第二支承部的吸附管嘴;能够相对于第二支承部在Y方向移动的第二移动部;被支承于第二移动部的吸附管嘴;使第一移动部、第二移动部一体地在Y方向移动并使吸附管嘴与吸附管嘴的离开距离变化的Y方向移动机构;以及使第一支承部、第二支承部的离开距离变化的X方向移动机构。