公开(公告)号：CN105372452B

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201510497799.4

申请日：2015-08-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种能够减少静电电容偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：第一结构体(11)，其具有具备了可动电极指(333)的可动部(33)；第二结构体(12)，其具备与可动电极指(333)对置的方式而配置的第一固定电极指(381)；第三结构体(13)，其具备与可动电极指对置(333)的方式而配置的第二固定电极指(391)，第一静电电容形成部(71)，其在第一结构体(11)和第二结构体(12)之间形成静电电容。

公开(公告)号：CN105372450B

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201510493730.4

申请日：2015-08-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器、电子设备以及移动体，其耐冲击且具有优异的机械强度。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；可动部(33)；设置在可动部(33)上的多个可动电极指(361～365)；设置在底基板(2)上的固定电极指(381～388)；将可动部(33)固定于底基板(2)的固定部(31、32)，在可动电极指(361～365)中包含有在X轴方向上与固定部(31、32)对置的可动电极指(361、365)，可动电极指(361、365)与固定部(31、32)之间的分离距离小于可动电极指(361～365)与固定电极指(381～388)之间的分离距离，可动电极指(361、365)的宽度大于其他的可动电极指(362、363、364)。

公开(公告)号：CN110058050A

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201910027541.6

申请日：2015-12-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  B81B3/00

Abstract: 一种电子装置、电子装置的制造方法。物理量传感器为，抑制了由于使用的环境的温度变化而引起的检测特性的变动的、检测特性更为稳定的物理量传感器。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)与配置于第一传感器元件(99)的外周的至少一部分的外缘部(90)，当俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽部(92)。

公开(公告)号：CN109425756A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810963512.6

申请日：2018-08-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P1/07 ,  G01P3/44 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请提供具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器包括基板、固定于基板的固定部、能够相对于固定部在第一方向上进行位移的可动部、设置于可动部的可动电极部、固定于基板并与可动电极部在所述第一方向上相对配置的固定电极部、以及限制可动部在第一方向上的可动范围的限制部。可动部包括配置于所述第一方向上的一侧的第一外缘部和配置于另一侧的第二外缘部。限制部包括与第一外缘部隔开间隙而配置的第一限制部以及与第二外缘部隔开间隙而配置的第二限制部中至少任一方。

公开(公告)号：CN109425333A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810984424.4

申请日：2018-08-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明涉及物理量传感器、复合传感器、惯性计测单元及电子设备，其耐冲击性优异、提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部、与连结部连接的第一质量部和第二质量部；第一固定电极和第二固定电极，设置于支承基板上，与第一质量部、第二质量部相对；以及突起，设置于设置有第一固定电极、第二固定电极的区域，并从支承基板朝向第一质量部、第二质量部突出，在交叉方向上，将从连结部与第一质量部、第二质量部的连接位置到第一质量部、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L、将从突起到第一质量部、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1是0.5L以上3.1L以下。

公开(公告)号：CN103364588B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201310113208.X

申请日：2013-04-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0814

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器以及电子设备，所述物理量传感器能够抑制在可动体上产生应力的情况。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括：基板(10)；固定部(32)及固定电极部(39a、39b)，其被固定在基板(10)上；可动体(34)，其具备支承部(35)、可动电极部(38)以及弹簧部(36)，并且能够沿着与第一轴交叉的第二轴而进行位移，其中，所述支承部(35)在俯视观察时被设置在固定部(32)的周围，所述可动电极部(38)被支承在支承部(35)上并沿着第一轴而延伸，且以与固定电极部(39a、39b)对置的方式而配置，所述弹簧部(36)对固定部(32)和支承部(35)进行连结，支承部(35)具备沿着第一轴而延伸的第一梁部(35a、35b)、和沿着第二轴而延伸的第二梁部(35c、35d)。

公开(公告)号：CN104297523A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410340387.5

申请日：2014-07-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B3/0013 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，其能够准确地对物理量进行检测。本发明所涉及的功能元件(100)包括：可动体(20)，其能够沿着第一轴而进行位移；固定部(30)，其通过连结部(40)而对可动体(20)进行支承；可动电极部(8)，其从可动体(20)起延伸；固定电极部(71)，其以与可动电极部(8)对置的方式而配置；延伸部(61)，其从固定部(30)起延伸，并具备与可动电极部(8)的侧面对置的对置部(61a)，对置部(61a)与可动电极部(8)之间的距离(L1)小于固定电极部(71)与可动电极部(8)之间的距离(L2)。

公开(公告)号：CN104280570A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410329461.3

申请日：2014-07-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0242 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器、电子设备、以及移动体。本发明抑制了由被轴支承的可动体的水平以及旋转轴方向上的位移所造成的物理量传感器的损坏。本发明的物理量传感器具备：固定电极部；可动体，其以使主面与固定电极部对置的方式被支承部支承在所述固定电极部之上，所述物理量传感器备阻挡部，所述阻挡部以与可动体的外形的边缘的至少一部分对置的方式而被设置，并对可动体的主面的面内旋转位移进行限制。

公开(公告)号：CN103364592A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310123601.7

申请日：2013-04-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明提供物理量传感器及其制造方法、以及电子设备，该物理量传感器能够具有较高的成品率。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括：基板（10）；第一可动体（20），其被设置在基板（10）上并具有第一可动电极部（21、22）；第一固定电极部（40、42），其以与第一可动电极部（21、22）对置的方式而被配置在基板（10）上；第二可动体（20），其被设置在基板（10）上并具有第二可动电极部（21、22）；第二固定电极部（40、42），其以与第二可动电极部（21、22）对置的方式而被配置在基板（10）上，在基板（10）上，于在俯视观察时位于第一可动体（20）与第二可动体（20）之间的部分（15a）上，设置有从基板（10）的主面（15）突出的支柱部（16）。

公开(公告)号：CN101534105B

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN200910007540.1

申请日：2009-02-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/02551 ,  H03H9/02228

Abstract: 本发明提供可抑制与兰姆波传播方向垂直的方向的振动泄漏的兰姆波型谐振子。兰姆波型谐振子(1)在将分别连接多个电极指片的母线电极的宽度表示为Wb、将上述电极指片和上述母线电极之间的距离表示为Wg时，在设Wg为x轴、设宽度Wb为y轴的正交坐标中，Wg和Wb共同处于用圆方程式(x-10)2+(y+12.7)2＝192表示的圆弧和Wg≥1λ、Wb≥1λ围成的范围以及以下范围的任意一个中，该范围是在用坐标(Wg，Wb)表示的情况下，利用直线将由J21，J22，J23，J24，J25，J26，J27，J28，J29，J30，J31，J32，J33，J34，J35，J36，J37，J38，J21所示的各个坐标按照记述顺序进行连接，并通过上述直线而围成的范围。由此，可抑制在晶体基板(10)的横方向外端部发生的位移。