公开(公告)号：CN102332889B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201110192101.X

申请日：2011-07-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215

CPC classification number: H03B5/30 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/0519 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/21

Abstract: 本发明提供一种能够提高Q值的振动片、具备该振动片的振子以及振荡器。水晶振动片(1)具备：基部(11)；从基部起延伸的一对振动臂(12、13)，振动臂(12、13)的机械性的共振频率f大于热弛张频率f0，振动臂(12、13)具有沿着振动臂(12、13)的长度方向而形成在相互对置的主面(10a、10b)上的槽部(18)，槽部(18)具有：底部(18c)；第1侧面部(18a)，其沿着振动臂(12、13)的长度方向形成，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接；第2侧面部(18b)，其隔着底部(18c)而与第1侧面部(18a)对置，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接，槽部(18)具有无电极区域，所述无电极区域为，在从第1侧面部(18a)的底部(18c)侧的一部分起，包括底部(18c)在内直至第2侧面部(18b)的底部(18c)侧的一部分为止的范围内，未设置激励电极(20、21)的区域。

公开(公告)号：CN103580641A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310301816.3

申请日：2013-07-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/215

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/21

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，能够抑制振动泄漏且具有良好的振动特性。振动片（200）包含：基部（220）；一对振动臂（230、240），它们从基部（200）向+Y轴方向突出，在俯视时在与Y轴方向交叉的X方向上隔着间隔距离而排列；以及支撑臂（250），其位于一对振动臂（230、240）之间，从基部（220）向+Y轴方向突出。基部（220）包含第1宽度缩小部（222），该第1宽度缩小部（222）位于以基部（220）的中央为界而与支撑臂（250）突出的一侧相反的一侧，并且，在所述间隔距离的范围内，在俯视时随着远离于支撑臂（250），该第1宽度缩小部（222）在X轴方向上的长度逐渐减小。

公开(公告)号：CN103532512A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310475653.0

申请日：2011-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/215 ,  H03H9/2457 ,  H03H9/2478 ,  H03H2003/0492

Abstract: 本发明提供小型且实现了低频化和高Q值化的振动片。为此，该振动片具有：基部；以及从所述基部起延伸的振动臂，所述振动臂包括：施重部；配置在所述基部与所述施重部之间的臂部，在所述振动臂的延伸方向上，所述施重部的长度在从所述基部到所述振动臂的前端的长度中所占的比例为35%以上41%以下。

公开(公告)号：CN102223141A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110090407.4

申请日：2011-04-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03B5/32

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H9/02023 ,  H03H9/02062 ,  H03H9/178

Abstract: 本发明提供能够抑制厚度滑动振动以外的振动并高效激励厚度滑动振动的振动片、振子以及压电器件。振动片(2)具有层叠体，该层叠体具有：进行厚度滑动振动的板状的第1压电体基板(21)；以及板状的第2压电体基板(22)，其与第1压电体基板(21)的一个面接合，在与第1压电体基板(21)相同的方向上进行厚度滑动振动。并且，第1压电体基板(21)和第2压电体基板(22)在厚度方向上分别被施加使彼此的接合面成为相同极性的电压，由此，彼此在相同方向上进行厚度滑动振动。

公开(公告)号：CN102215031A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN201110086238.7

申请日：2011-04-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/15 ,  H03H9/17 ,  H03H9/21 ,  H03H9/215

Abstract: 振动片以及振子，能够降低热弹性损失，具有高的Q值。振动片(10)具有：进行弯曲振动的振动臂(30)；结合振动臂(30)的端部的基部(20)；锥形部(25)，其关于振动臂(30)的振动中心对称，随着从锥形部(25)与振动臂(30)的结合部靠近锥形部(25)与基部(20)的结合部，锥形部(25)的宽度变宽，当用L表示振动臂(30)的长度、用W表示振动臂(30)的宽度、用Lt表示锥形部(25)的长度、用Wt表示锥形部(25)的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定锥形部(25)的形状。通过这样地规定锥形部(25)的形状，能够降低随振动产生的热弹性损失而提高Q值，实现稳定的振动特性。

公开(公告)号：CN102195605A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110049987.2

申请日：2011-03-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  古畑诚

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15

CPC classification number: H01L41/04

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，其课题是防止因热弹性效应引起的Q值降低并同时降低CI值。振动片(100)具有：基部(10)；以及从基部(10)延伸地形成的进行弯曲振动的作为振动部的一对振动臂(20、21)。由振动臂(20)的外侧面(20d)和槽(20a)形成外壁(20f)。同样，由外侧面(20e)和槽(20b)形成外壁(20g)。另外，由槽(20a、20b、20c)形成内壁(20h、20i)。振动臂(21)也与振动臂(20)同样形成有外壁(21f、21g)和内壁(21h、21i)。

公开(公告)号：CN101847978A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010148319.0

申请日：2010-03-25

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  山田明法 ,  浜山裕史

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/215

Abstract: 本发明提供抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。在由基部(52)和从基部(52)一端侧延伸出的一对振动臂(53、54)构成的音叉型石英振动片(50)中，在包括各振动臂(53、54)的与基部(52)相连的根部附近区域形成激励电极(36A、37A)。振动臂(53、54)沿图中箭头(G)的方向弯曲振动时压缩或拉伸应力作用的第1区域(110、112)和第2区域(111、113)热连接。振动臂(53、54)各自的热传导路径的条数设为m、热传导路径的热阻率设为ρth、振动臂(53、54)热阻率设为ρV、与振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tv、热传导路径的振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tth时，满足tth≥(1/m)×tv×(ρth/ρv)的关系。

公开(公告)号：CN112207014B

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202010644246.8

申请日：2020-07-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: B06B1/12

Abstract: 振动元件、振子、电子设备以及移动体，该振动元件的Q值较高。振动元件(100)具有：基部(130)；第1振动臂(110)和第2振动臂(120)，它们从基部沿着第1轴延伸且沿着第2轴排列，第1振动臂具有从基部延伸的第1臂(111)和与第1臂的末端连接的第1施重部(112)，第2振动臂具有从基部延伸的第2臂(121)和与第2臂的末端连接的第2施重部(122)，当相对于通过第1臂的宽度中心的第1假想中心线，将第1施重部的第2振动臂侧的质量设为M1、第1施重部的与第2振动臂相反侧的质量设为M2，相对于通过第2臂的宽度中心的第2假想中心线，将第2施重部的第1振动臂侧的质量设为M1、第2施重部的与第1振动臂相反侧的质量设为M2时，满足0.952＜M2/M1＜1.000。

公开(公告)号：CN104660169B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201410648703.5

申请日：2014-11-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03B5/32

Abstract: 本发明为振动片、振子、振荡器、电子设备及移动体。本发明的课题是提供振动特性和耐冲击性这两方面都优异的振动元件，并且提供具备该振动元件的可靠性高的振子、振荡器、电子设备及移动体。振动元件(2)包括石英振动片(3)，所述石英振动片(3)具有：基部(31)；振动臂(32、33)，其从基部的一端侧延伸；连接部(34)，其配置在基部(31)的另一端侧；以及连结部(35)，其位于基部(31)和连接部(35)之间，并将它们连结起来，当设石英振动片(3)的厚度为T，基部(31)的宽度为W1，连结部(35)的宽度为W2时，满足110μm≤T≤210μm的关系，同时满足0.469≤W2/W1≤0.871。

公开(公告)号：CN109217838A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201811050020.4

申请日：2014-06-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/21

Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。