公开(公告)号：CN1908562A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200610108182.X

申请日：2006-07-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 五味一博

IPC: F26B5/04

CPC classification number: H01L21/67034 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/133516 ,  G02F1/13363 ,  G02F1/1337 ,  Y10T428/10

Abstract: 提供在干燥过程中根据液状体的种类使被涂敷的液状体的溶媒的蒸发速度最佳化，以溶媒蒸汽压的分布在被涂敷的面内大致均匀的状态进行减压干燥的减压干燥方法、使用该减压干燥方法的功能膜的制造方法和电光学装置的制造方法、电光学装置、液晶显示装置、有机EL显示装置以及电子设备。减压干燥方法包括：减压工序，在涂敷有液状体的基材收容于第一室的状态下，使第一室和第二室连通，由减压机构减压至规定的操作压Ps为止；放置工序，在达到规定操作压Ps的阶段密闭第一室，使溶媒蒸发，直到第一室上升到规定的压力为止进行放置；连通工序，连通上升到规定压力的第一室和第二室；排出工序，由减压机构将在第一室和第二室中扩散的溶媒的蒸汽排出。