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公开(公告)号:CN102540725A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110374325.2
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物,所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。在上述化学式1中,各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102540725B
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:CN201110374325.2
申请日:2011-11-22
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物,所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。在上述化学式1中,各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102604650A
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN201110192083.5
申请日:2011-07-04
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337
CPC classification number: C08G73/10
Abstract: 本发明提供一种液晶取向剂,所述液晶取向剂包括选自聚酰胺酸、聚酰亚胺和它们的组合中的聚合物,所述聚酰胺酸包括由以下化学通式1表示的重复单元,所述聚酰亚胺包括由以下化学通式2表示的重复单元。[化学通式1][化学通式2]在化学通式1和2中,X1、X2、Y1和Y2与详细描述中的相同。本发明还提供了用所述液晶取向剂制造的液晶取向膜和包括所述液晶取向膜的液晶显示器。
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公开(公告)号:CN102531910A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110301200.7
申请日:2011-09-28
IPC: C07C205/42 , C07C201/12 , G03F7/039
CPC classification number: C07C205/42 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明提供了包括由化学式1表示的化合物的邻硝基苄酯化合物,和包含该邻硝基苄酯化合物的正型光敏树脂组合物。本发明还提供了一种利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102159995A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200880131180.X
申请日:2008-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , Y10S430/107
Abstract: 本发明提供了一种正性光敏树脂组合物,包括:(A)聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)聚酰胺酸酯化合物;以及(E)溶剂。该正性光敏树脂组合物可以减少膜收缩,具有高感光度、高分辨率、以及极好的残留物去除性能,并且可以实现良好的图案形状。
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公开(公告)号:CN102109763A
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN201010597687.3
申请日:2010-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0755
Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物,包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体;(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂;(C)产酸剂;(D)硅烷基化合物;以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元,或由化学式1和2表示的两种重复单元,并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中,每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中,每个取代基与说明书中定义的相同。
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公开(公告)号:CN101727006B
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN200910179894.4
申请日:2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物,该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体,其包括:化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团;(B)第二聚苯并噁唑前体,其包括化学式3的重复单元;(C)光敏重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;以及(E)溶剂。
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公开(公告)号:CN102109763B
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201010597687.3
申请日:2010-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0755
Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物,包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体;(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂;(C)产酸剂;(D)硅烷基化合物;以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元,或由化学式1和2表示的两种重复单元,并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中,每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中,每个取代基与说明书中定义的相同。
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公开(公告)号:CN102559205A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110189948.2
申请日:2011-07-07
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337
CPC classification number: C09K19/56 , Y10T428/1023 , Y10T428/31721 , Y10T428/31725
Abstract: 本发明公开了液晶取向剂、使用其制造的液晶取向膜和包括该液晶取向膜的液晶显示器。所述液晶取向剂包括聚合物,所述聚合物选自包括以下化学式1所示的重复单元的聚酰胺酸、包括以下化学式2所示的重复单元的聚酰亚胺和它们的组合。[化学式1][化学式2]在化学式1和2中,X1、X2、Y1和Y2与说明书中的定义相同。
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