基于TFT阵列原位极化PVDF-TrFE薄膜的混合电容压电可视化传感器

    公开(公告)号:CN218350525U

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202222357426.5

    申请日:2022-09-05

    Abstract: 本实用新型提供了一种基于TFT阵列原位极化PVDF‑TrFE薄膜的混合电容压电可视化传感器,涉及气象压电传感器领域,从底部向上依次包括玻璃基底和两个并联的压电PVDF‑TrFE传感器和PVDF‑TrFE/TFT传感器,用于实时监测降雨的大小、速率和频率。该设计基于薄膜晶体管(TFT)阵列上的原位极化聚(偏氟乙烯‑三氟乙烯)(PVDF‑TrFE)薄膜,原位极化处理后的PVDF‑TrFE薄膜压电系数d33平均值可以达到27pC/N,并在整个区域内均匀分布。采用PVDF‑TrFE为基础的压电传感器表灵敏度显著增高,误差范围大幅度减小;采用PVDF‑TrFE薄膜和TFT阵列组成的电容式传感器,可实时监测传感器表面雨滴的大小和形状,此外,该传感器还可用于高精度的水位检测,超高的分辨率实现了高响应精度的气象探测。

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