基片集成波导圆极化天线
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103700947B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201310747193.2

    申请日:2013-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种增益较高的基片集成波导圆极化天线。该天线包括介质基板以及设置在介质基板表面的上表面金属层、下表面金属层,所述介质基板上设置有正六边形基片集成波导腔体,所述上表面金属层上设置有共地共面波导结构以及与共地共面波导结构相连的微带馈线形成输入端,所述下表面金属层上设置有“十”字形交叉缝隙形成辐射单元。这种结构的天线增益远高于现有的圆极化天线,因此,本发明所述的基片集成波导圆极化天线性能较好,而且本发明所述的基片集成波导圆极化天线抗雨雾干扰能力强,且当圆极化波通过电离层时,不受法拉第旋转效应的影响,适合在微波毫米波技术领域推广应用。

    多层混合模六边形基片集成波导滤波器

    公开(公告)号:CN103904391B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201410136134.6

    申请日:2014-04-08

    Abstract: 本发明公开了一种带外选择性较高且体积小、损耗低的多层混合模六边形基片集成波导滤波器。该滤波器的共面波导输入端与共面波导输出端之间存在夹角,并通过设置在第一金属层上的六边形耦合槽组合结构的加载效应,既可以有效激励腔体中谐振的二次模,以及左倾和右倾两个非谐振高次模,又可以激发滤波器源和负载之间的电磁耦合,有效增加信号传输路径,从而在原有一个传输零点的基础上额外获得两个传输零点,通过设置在第二金属层上的两个对称分布的V形耦合槽可以实现第一谐振腔与第二谐振腔之间的耦合,再产生第四个传输零点,进一步展宽了阻带宽度并提高阻带衰减量,同时该滤波器损耗较低、体积较小。适合在微波毫米波技术领域推广应用。

    六边形基片集成波导缝隙天线

    公开(公告)号:CN103531913A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201310478610.8

    申请日:2013-10-14

    Abstract: 本发明公开了一种能够实现对四个辐射缝隙同相馈电的六边形基片集成波导缝隙天线。该天线包括介质基板、上表面金属层、下表面金属层,在上表面金属层上刻蚀有T形共地共面波导输入端,在下表面金属层上刻蚀有四条互相平行的矩形辐射缝隙,所述T形共地共面波导输入端跨过第一矩形辐射缝隙,T形共地共面波导输入端的弯折处到基准线之间的距离为六边形基片集成波导腔体的腔体中心到基准线距离的1/3,能够激励起中心工作频率附近六边形基片集成波导腔体内TM310模式场分布,并利用中心六边形通孔阵列对六边形基片集成波导腔体内部的低阶谐振模式进行抑制,从而实现对四条互相平行的矩形辐射缝隙的同相馈电。适合在天线技术领域推广应用。

    一种薄膜体声波谐振器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105958956B

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201610262057.8

    申请日:2016-04-26

    Abstract: 本发明属于射频微机电系统技术领域,具体提供一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法;所述薄膜体声波谐振器包括衬底、依次设置在衬底上的底电极、压电层及顶电极,所述衬底上开设有凹槽,衬底上表面及凹槽内设置低声阻抗层,所述底电极、压电层及顶电极均设置于所述低声阻抗层上,所述底电极为由低声阻抗层上依次层叠的高电导率电极层和高声阻抗电极层构成的复合底电极。本发明提供一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法,该谐振器性能优良,制备工艺难度和复杂度均极大简化,显著提高薄膜体声波谐振器生产合格率,大大降低生产成本、缩短生产周期,有利于工业化生产,对拓宽应用领域有着极其重要的意义。

    基片集成波导腔体缝隙天线

    公开(公告)号:CN103474780B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310418575.0

    申请日:2013-09-13

    Abstract: 本发明公开了一种能够获得高阶的TE410模式场分布的基片集成波导腔体缝隙天线。该天线包括介质基板、上表面金属层、下表面金属层,在上表面金属层上刻蚀有T形共地共面波导输入端,在下表面金属层上刻蚀有三条互相平行的矩形辐射缝隙,分别为第一矩形辐射缝隙、第二矩形辐射缝隙、第三矩形辐射缝隙,所述T形共地共面波导输入端跨过第一矩形辐射缝隙、第二矩形辐射缝隙并且T形共地共面波导输入端的末端与第三矩形辐射缝隙之间的距离为1/4到3/4个TE410模式谐振波长,能够激励起中心工作频率附近基片集成波导矩形腔体内的TE410模式场分布,从而实现对三条互相平行的矩形辐射缝隙的同相馈电,并提高了天线工作带宽内的增益。适合在天线技术领域推广应用。

    多频带平面印刷天线
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103531908B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201310526112.6

    申请日:2013-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种能够覆盖WiMAX和WLAN工作频段而且频带之间的隔离特性较好的多频带平面印刷天线。该多频带平面印刷天线,包括介质基板,所述介质基板的下表面印制有金属地板,所述介质基板的上表面印制有辐射贴片以及微带馈线,所述辐射贴片包括第一辐射单元、第二辐射单元、第三辐射单元,该多频带平面印刷天线的辐射贴片由三个形状不同的辐射单元组成,三个辐射单元可以产生覆盖2.4~5.825GHz的频率,能够覆盖WiMAX和WLAN工作频段,而且采用三个不同的谐振单元结构,使得天线在每个频带之间的隔离度非常好,几乎不会产生相互干扰,频带之间的隔离特性较好,另外,这种结构的多频带平面印刷天线整体面积非常小。适合在天线技术领域推广应用。

    一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107241077B

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN201710333310.9

    申请日:2017-05-12

    Abstract: 本发明属于射频微机电系统(MEMS)技术领域,具体提供一种新型压电薄膜体声波谐振器及其制造方法,包括衬底,支撑层、底电极层、压电层及顶电极层;该谐振器的衬底上开设有一定数量凹槽,用以增大衬底外表面积;在衬底上设置支撑层,使用低声阻抗柔性材料聚酰亚胺等填充凹槽内部和支撑层上表面;然后在低声阻抗层上依次设置底电极层、压电层及顶电极层。该新型压电薄膜体声波谐振器结构新颖,制备简单,更重要的是能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足,功率容量不足等问题,具有良好的应用前景。

    一种空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107528561A

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201710816568.4

    申请日:2017-09-12

    Abstract: 本发明涉及一种空腔型薄膜体声波谐振器,包括从下往上依次设置的衬底、隔离层、支撑层、底电极层、压电层及顶电极层,隔离层上表面中部向下凹陷形成凹槽,支撑层和衬底将凹槽封闭形成封闭空腔,该封闭空腔下表面的高度低于衬底上表面的高度,且该封闭空腔的下表面为平整面,所述支撑层材料为SiC。同时本发明还公开了该声波谐振器的制备方法。本发明通过SiC支撑层使得器件结构稳定,提高了功率容量。可以有效的将热量散发出去,减小器件热稳态温度,热稳定性好。本发明方法采用丙酮溶液剥离工艺(lift-off)去除非晶硅层,简化了CMP工艺,研磨时间减少,研磨均匀性改善,提高了器件的频率稳定性及成品率。

    一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105958956A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610262057.8

    申请日:2016-04-26

    Abstract: 本发明属于射频微机电系统技术领域,具体提供一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法;所述薄膜体声波谐振器包括衬底、依次设置在衬底上的底电极、压电层及顶电极,所述衬底上开设有凹槽,衬底上表面及凹槽内设置低声阻抗层,所述底电极、压电层及顶电极均设置于所述低声阻抗层上,所述底电极为由低声阻抗层上依次层叠的高电导率电极层和高声阻抗电极层构成的复合底电极。本发明提供一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法,该谐振器性能优良,制备工艺难度和复杂度均极大简化,显著提高薄膜体声波谐振器生产合格率,大大降低生产成本、缩短生产周期,有利于工业化生产,对拓宽应用领域有着极其重要的意义。

    基片集成波导滤波器
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103904392B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201410136165.1

    申请日:2014-04-08

    Abstract: 本发明公开了一种选择性高、体积小、损耗低的基片集成波导滤波器。该基片集成波导滤波器,包括从上到下依次层叠设置的第一金属层、第一介质基板、第二介质基板、第二金属层、金属化通孔阵列,所述第一介质基板与第二介质基板之间设置有第一带状耦合单元与第二带状耦合单元。本发明利用LTCC技术将带状耦合单元集成于基片集成波导滤波器的谐振腔内部,无需增加谐振腔的数目,即可增添一条信号的传输通道,从而可在阻带内获得一个传输零点,提高了滤波器的选择性,同时传输零点位置可以通过调整带状线耦合单元的谐振频率进行灵活控制,而且由于不需要较多的谐振腔级数,具有体积小、重量轻,损耗低的特点。适合在微波毫米波技术领域推广应用。

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