保护膜形成用复合片
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106489189A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201580032859.3

    申请日:2015-09-03

    Abstract: 本发明涉及一种保护膜形成用复合片,其具有粘合片、和叠层于粘合片的所述粘合剂层侧的保护膜形成膜,所述粘合片是粘合剂层叠层于基材的一面侧而形成的,其中,在对所述基材施加0.1g/mm的载荷并在130℃下加热2小时再冷却至23℃的情况下,所述基材在加热后相对于加热前在MD方向及CD方向的伸缩率均为95~103%,所述基材在23℃下的MD方向及CD方向的拉伸弹性模量均为100~700MPa。

    保护膜形成用复合片
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108701597B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN201680081330.5

    申请日:2016-12-08

    Abstract: 本发明的保护膜形成用复合片具备支撑片、在所述支撑片的一个表面上具备保护膜形成用膜、且在所述支撑片的与具有所述保护膜形成用膜的一侧相反侧的表面上具备涂敷层而成,其中,所述涂敷层的与所述支撑片相接触的一侧相反侧的表面的表面粗糙度Ra小于所述支撑片的具备涂敷层的一侧表面的表面粗糙度Ra。

    保护膜形成用片卷及保护膜形成用片卷的制造方法

    公开(公告)号:CN114075418A

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202110736630.5

    申请日:2021-06-30

    Inventor: 山本大辅

    Abstract: 本发明提供一种不易产生痕迹的保护膜形成用片卷及其制造方法,该痕迹起因于会给保护膜带来痕迹的保护膜形成膜的卷绕。所述保护膜形成用片卷及其制造方法中,所述保护膜形成用片卷为将具有保护膜形成膜、设置在所述保护膜形成膜的一个面上的第一剥离膜、及设置在另一个面上的第二剥离膜的长条片卷绕而成的片卷,将从保护膜形成膜上剥离第一剥离膜的剥离力设为F1,将从保护膜形成膜上剥离第二剥离膜的剥离力设为F2时,F1>F2,保护膜形成膜在10℃下的损耗角正切tanδ10为1.2以下,在使片卷的卷绕轴为铅直方向的方向上,当卷绕后的长条片受到重力作用时,将铅直方向的长条片的最大位移量设为A[mm]时,A/tanδ10为2.0以上。

    套件、及使用该套件的第三层叠体的制造方法

    公开(公告)号:CN112825306A

    公开(公告)日:2021-05-21

    申请号:CN202011302243.2

    申请日:2020-11-19

    Abstract: 本发明提供一种具备第一层叠体(5)和支撑片(10)的套件(1),所述第一层叠体(5)中依次层叠有第一剥离膜(151)、保护膜形成膜(13)及第二剥离膜(152),使用70℃的层压辊将保护膜形成膜(13)贴附在经镜面加工的硅晶圆的镜面上,完成所述贴附5分钟后的、以100mm/分钟的剥离速度、于23℃的温度下测定的保护膜形成膜(13)与所述硅晶圆之间的180°剥离粘着力为900mN/25mm以上。

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