公开(公告)号：CN102762867A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201080058543.9

申请日：2010-11-23

申请人： 爱德华兹有限公司

发明人： P.J.斯蒂芬斯 ,  I.D.斯通斯 ,  M.W.格雷 ,  P.D.内勒

IPC分类号： F04C29/00

CPC分类号： F04C25/02 ,  F04C23/001 ,  F04C27/009 ,  F04C27/02 ,  F04C28/02 ,  F04C29/0092 ,  F04C2220/12

摘要： 本发明提供正排量干泵，包括：多个真空抽汲级，其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构，以通过抽汲级将流体连续地从高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口；容纳支承传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室，传动轴通过润滑室的顶板的开口从高真空级延伸到润滑室；级间吹扫端口，气体能通过级间吹扫端口而在高真空级的下游的级间位置处进入泵，且仅传送通过级间端口的下游的真空抽汲级或各个真空抽汲级；位于润滑室中的润滑室吹扫端口，吹扫气体能通过润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出；其中级间端口连接到润滑室上，以控制润滑室中的吹扫气体的压力，从而阻止抽汲气体在使用期间通过顶板开口从高真空室传送到润滑室。