公开(公告)号：CN115074677B

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202210531419.4

申请日：2022-05-16

Applicant: 清华大学 ,  烟台大学

Inventor： 何永勇 ,  李杨 ,  张哲浩 ,  王政伟 ,  邵明昊 ,  雒建斌

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种CrWZrN多层梯度结构涂层及其制备方法。所述CrWZrN多层梯度结构涂层包括：基底；以及依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层和CrWZrN涂层。本发明在CrWZrN多层梯度结构涂层中引入了W、Zr、Cr和N元素，进一步提高了材料的表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性，并使得基体和涂层间保持合理的多层硬度梯度，在合理控制内应力的同时还提升了基体和涂层的结合强度。

公开(公告)号：CN114481008A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210066178.0

申请日：2022-01-20

Applicant: 清华大学 ,  烟台大学

Inventor： 何永勇 ,  张哲浩 ,  李杨 ,  邵明昊 ,  王政伟 ,  董永康 ,  雒建斌

IPC: C23C8/28 ,  C23C8/36

Abstract: 本公开提供的离子氮碳硫多元共渗辅助设备、处理系统及方法，辅助设备包括：放置在离子扩渗炉的炉体顶部的空心阴极离子源，放置于炉体侧壁上的绝缘壳体，和多个同轴且由内至外依次间隔排布于绝缘壳体内的电磁铁，相邻两个电磁铁的绕线方式相反，多个电磁铁用于在离子扩渗炉内形成可控的磁场，以改变金属工件表面电子的运动轨迹和金属工件的磁畴。处理系统包括：离子扩渗炉、离子氮碳硫多元共渗辅助设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。处理方法包括向炉体内通入含有氮元素、碳元素、氢元素和硫元素的气体，并向金属工件提供可控的磁场。本公开可减少工件表面硫化物的间隙，使硬度呈现缓慢下降的趋势，提高工件表面硬度和使用寿命。

公开(公告)号：CN114164395A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111443771.4

申请日：2021-11-30

Applicant: 清华大学 ,  烟台大学

Inventor： 何永勇 ,  张哲浩 ,  李杨 ,  邵明昊 ,  王政伟 ,  董永康 ,  雒建斌

IPC: C23C8/36 ,  C23C8/80

Abstract: 本公开提供的离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法，设备包括：炉体；位于炉体内的工件盘；位于炉体内的工件盘上方的阳极板；位于炉体内的工件盘下方的辅助阴极；位于炉体内的工件盘、阳极板和辅助阴极外围的空心阴极筒；第一电源，用于为空心阴极筒和辅助阴极提供脉冲电压的第一电源；和用于为工件盘提供脉冲偏置电压的第二电源。系统包括：离子氮碳硫多元共渗设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。方法包括向炉体内通入含有氮、氢、碳和硫元素的气体，并控制第一电源和第二电源的关断。本公开可提高离子扩渗炉内的离子体密度，有效增加扩渗层厚度和表面硬度，以此提高扩渗质量，同时方便阳极清洗。

公开(公告)号：CN116641015A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310819775.0

申请日：2023-07-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 何永勇 ,  李杨 ,  卢金鹏 ,  张哲浩 ,  雒建斌 ,  闫计文 ,  王政伟 ,  邵明昊 ,  周泽龙 ,  窦海春

IPC: C23C8/24 ,  C23C14/32 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种渗氮镀膜一体化设备及方法和应用。该设备包括渗氮镀膜一体化设备本体、挡板、阴极筒体和工件架，渗氮镀膜一体化设备本体的内侧壁上绝缘连接靶材；挡板可旋转地环绕渗氮镀膜一体化设备本体的内壁设置，挡板与渗氮镀膜一体化设备本体的内壁间隔，挡板上设有第一开口，第一开口可旋转至靶材对应位置；阴极筒体包括第一阴极筒体和第二阴极筒体，挡板和阴极筒体均与渗氮镀膜一体化设备本体的底部绝缘连接，第一阴极筒体和第二阴极筒体上分别设有的第二开口和第三开口均与靶材对应设置；工件架位于第二阴极筒体内。该设备将工件的渗氮和镀膜在同一设备中完成，实现了工件的渗氮镀膜一体化。