公开(公告)号：CN116931256A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310885880.4

申请日：2023-07-18

Applicant: 华中科技大学 ,  深圳华中科技大学研究院

Inventor： 马冬林 ,  赵浩宇 ,  徐智谋 ,  刘晓军

IPC: G02B26/10 ,  G02B7/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及多功能复合型扫描探头。本发明包含探头壳体、第一传输光纤、第二传输光纤、穿孔光纤固定组件、第一固定组件、第一透镜组、第二固定组件、第二透镜组，其中第一透镜组的所述第一数值孔径大于与所述第二透镜组的所述第二数值孔径，第一透镜组的光轴与第二透镜组的光轴存在固定夹角。该发明将大数值孔径的可见光探头和小数值孔径的多波长红外探头固定集成，平移或旋转透镜组时不需要二次标定，具有较高的工作效率和较强的系统稳定性。主要用于微结构和微纳光学元件测量。

公开(公告)号：CN116929203A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310880983.1

申请日：2023-07-18

Applicant: 华中科技大学 ,  深圳华中科技大学研究院

Inventor： 马冬林 ,  赵浩宇 ,  徐智谋

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统。本发明包含激光发射单元、第一传输光纤、光环形器、第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组，激光发射单元发射波长范围为400nm～500nm的第一方向蓝光，经过第一传输光纤，输入到光环形器的第一输入光口；光环形器的第二双向光口输出后，依次经过第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组照射到被测物表面；被测物表面反射光沿第二方向经过大数值孔径聚焦透镜组在干涉端面处与第一方向蓝光形成干涉，干涉光信号经过第二传输光纤、光环形器的第三输出光口到达激光接收单元，实现对干涉光信号的光电转换和解析。该发明使用蓝光干涉扫描和相位生成载波技术，具有扫描速度快，横向和法向扫描精度高的特点。主要用于微结构和微纳光学元件测量。