公开(公告)号：CN207071747U

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201720324632.2

申请日：2017-03-30

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 奥间惇治 ,  长尾光洋 ,  福智升央 ,  伊崎泰则

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/046 ,  B23K26/70

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/064

Abstract: 本实用新型提供可对应多个波长带的激光加工装置。激光加工装置(200)具备根据相位图案调制且反射从激光振荡器(310)输出的激光(L)的反射型空间光调制器(410)和将来自反射型空间光调制器(410)的激光(L)向加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元(430)。反射型空间光调制器(410)具有激光(L)入射的表面(218a)、将从表面(218a)入射的激光(L)向表面(218a)反射的表面(214a)、配置于表面(218a)和表面(214a)之间且显示相位图案并调制激光(L)的液晶层(216)。在表面(214a)上形成有在相互不连续的多个波长带具有高反射率区域的电介质多层膜(反射膜(215))。

公开(公告)号：CN206598017U

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201720102004.X

申请日：2017-01-26

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 奥间惇治 ,  长尾光洋 ,  伊崎泰则

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的图像容易且高精度地向聚光光学系统的入射光瞳面传像。激光加工装置具备：支撑加工对象物的支撑台、射出激光(L)的激光振荡器、调制并反射激光(L)的反射型空间光调制器(410)、使激光(L)相对于加工对象物进行聚光的聚光透镜单元(430)、构成反射型空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜(422、423)。通过一对透镜(422、423)的激光(L)的光路为一直线。两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。