抛光垫修整装置
    11.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201115932Y

    公开(公告)日:2008-09-17

    申请号:CN200720191669.9

    申请日:2007-11-20

    Abstract: 一种抛光垫修整装置,包括支架板、修整环、直线导轨、往复运动驱动机构、径向移动驱动电机以及旋转驱动电机,所述的两根直线导轨水平安装在支架板的下方,所述的径向移动驱动电机固定在支架板的上方,所述的径向移动驱动电机安装在支架板上,所述的径向移动驱动电机与往复运动驱动机构传动连接,所述往复运动驱动机构可水平滑动地套装在直线导轨上,所述的修整环安装在往复运动驱动机构的下方,所述旋转驱动电机与往复运动驱动机构固定连接,所述旋转电机的输出轴通过传动机构上的拔杆传动联接修整环。本实用新型实现在线修整抛光垫的平面精度、使加工周期缩短、加工后的工件表面具有良好的均匀度。

    修整可控型超精密抛光机
    12.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201115929Y

    公开(公告)日:2008-09-17

    申请号:CN200720191668.4

    申请日:2007-11-20

    Abstract: 一种修整可控型超精密抛光机,包括机座、抛光盘、抛光盘驱动电机、测速机构、智能控制平台、修整环、直线导轨、往复运动驱动机构、径向移动驱动电机以及旋转驱动电机,基座上安装支架板,支架板安装基盘保持架,两根直线导轨水平安装在支架板的下方,径向移动驱动电机安装在支架板上,径向移动驱动电机与往复运动驱动机构传动连接,往复运动驱动机构可水平滑动地套装在直线导轨上,修整环安装在往复运动驱动机构的下方,旋转驱动电机与往复运动驱动机构固定连接,旋转驱动电机的输出轴与修整环传动连接,修整环位于抛光盘的基盘覆盖以外区域的上方。本实用新型实现在线修整抛光垫的平面精度、使加工周期缩短、加工后的工件表面具有良好的均匀度。

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