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公开(公告)号：CN102735655A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210242530.8
申请日：2012-07-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器，它包括：输入波导阵列、自由传播区、两个金属传感层、输出波导阵列和探测器阵列；两个金属传感层分别镀在自由传播区的自由传播区反射端平面和自由传播区反射端曲面上，两个金属传感层上均蚀刻了深刻蚀槽；入射光从输入波导阵列中的一根波导引入，进入自由传播区的一端，依次经由自由传播区反射端平面和自由传播区反射端曲面反射后，再通过输出波导阵列到达探测器阵列。本发明采用两个反射面，可以大大提高传感器的探测精度，也可以同时探测两种物质，节省了大量地探测时间；采用曲面作为反射面，提高了探测范围和精度，减小了传播要求的空间距离，大大减小了传感器的尺寸。
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公开(公告)号：CN102097745B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201110007690.X
申请日：2011-01-14
Applicant: 浙江大学
IPC: H01S5/125
Abstract: 本发明公开了一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器。包括增益波导、前布拉格反射镜和后布拉格反射镜，整个激光器在垂直方向由上包层、芯层和下包层构成。前布拉格反射镜由前波导以及沿前波导轴向等间隔排列的与前波导中心线两侧对称的前刻蚀槽组组成，后布拉格反射镜由后波导以及沿后波导轴向等间隔排列的与后波导中心线两侧对称的后刻蚀槽组组成，前、后刻蚀槽组中的刻蚀槽刻蚀穿过对应区域的芯层。本发明通过引入对称的刻蚀槽结构，降低额外损耗，提高了激光器性能；无需二次外延，制作工艺得到简化；前、后布拉格反射镜产生有差别的梳状反射光谱，由于游标效应，扩大了激光器的自由光谱区和波长调谐范围。
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公开(公告)号：CN102097745A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110007690.X
申请日：2011-01-14
Applicant: 浙江大学
IPC: H01S5/125
Abstract: 本发明公开了一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器。包括增益波导、前布拉格反射镜和后布拉格反射镜，整个激光器在垂直方向由上包层、芯层和下包层构成。前布拉格反射镜由前波导以及沿前波导轴向等间隔排列的与前波导中心线两侧对称的前刻蚀槽组组成，后布拉格反射镜由后波导以及沿后波导轴向等间隔排列的与后波导中心线两侧对称的后刻蚀槽组组成，前、后刻蚀槽组中的刻蚀槽刻蚀穿过对应区域的芯层。本发明通过引入对称的刻蚀槽结构，降低额外损耗，提高了激光器性能；无需二次外延，制作工艺得到简化；前、后布拉格反射镜产生有差别的梳状反射光谱，由于游标效应，扩大了激光器的自由光谱区和波长调谐范围。
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公开(公告)号：CN101825480B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010104762.8
申请日：2010-01-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器。它包含宽带光源、输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导、两个光功率计。传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度相同，传感环形谐振腔的所有谐振频率与参照环形谐振腔的所有谐振频率一一对应重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起谐振谱的移动，通过等长双谐振腔的级联滤波效应可将此移动转换为透射总输出功率的变化，从而简单有效地检测被测量。
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公开(公告)号：CN101696933B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910153230.0
申请日：2009-10-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于谐振干涉复合结构和游标效应的光波导传感器。它包含输入波导、四个分支波导、输出波导、将光从输入波导等分到分支波导的分光器、将光从分支波导合到输出波导的合光器、两侧分别与两个分支波导耦合的传感谐振腔、两侧分别与两个分支波导耦合的参照谐振腔，传感谐振腔与参照谐振腔光学长度不同，传感谐振腔的一个谐振频率与参照谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感谐振腔中至少有一部分波导的上包层与被测物质接触，被测物质的变化会引起模式有效折射率变化，从而引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大，并将其转换为相邻两个谐振峰的功率比变化，从而更有效地检测包层被测物质的变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101593931B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910100208.X
申请日：2009-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种波长可以无跳模调谐的半导体激光器，它包括一个无源谐振腔、增益波导2和无源波导3。仅有无源谐振腔的谐振波长的光波才能以最小的损耗在激光器中产生谐振。激光器存在一个调谐区，其折射率可以通过外界手段加以改变，从而改变激光器的谐振波长，实现波长调谐的目的。调谐区包括无源谐振腔的一部分第三波导11和无源波导3的一部分第一波导31，通过合适的选取第三波导11和第一波导31的长度，可以实现对无源腔谐振波长的调谐速率与对激光器的谐振波长的调谐速率一致，从而可以仅仅通过改变该调谐区的折射率，就可以实现对激光波长的无跳模调谐，而无需任何额外的同步调谐机制。
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公开(公告)号：CN101859001A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010195943.6
申请日：2010-06-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于硼锗共掺上包层的二氧化硅光波导器件及制备方法。在基底上沉积二氧化硅下包层，在下包层上表面沉积掺杂锗的二氧化硅薄膜后，通过光刻、刻蚀工艺形成截面为方形的波导芯层；在二氧化硅下包层与波导芯层上面沉积一层掺有硼和锗两种元素的二氧化硅上包层，上包层和芯层波导结构之间不存在空隙。在硼锗共掺的二氧化硅上包层沉积后进行高温热退火工艺，低熔点的上包层薄膜会回流进入相邻波导芯层中的间隙，这样就能在后续沉积膜层中减少遮蔽效应的作用，实现波导间空隙的完全填充，降低器件损耗。本发明的基于硼锗共掺上包层的二氧化硅波导器件结构，可广泛应用于分路器、耦合器和阵列波导光栅等高纵横比波导结构的器件。
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公开(公告)号：CN101593931A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910100208.X
申请日：2009-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种波长可以无跳模调谐的半导体激光器，它包括一个无源谐振腔、增益波导2和无源波导3。仅有无源谐振腔的谐振波长的光波才能以最小的损耗在激光器中产生谐振。激光器存在一个调谐区，其折射率可以通过外界手段加以改变，从而改变激光器的谐振波长，实现波长调谐的目的。调谐区包括无源谐振腔的一部分第三波导11和无源波导3的一部分第一波导31，通过合适的选取第三波导11和第一波导31的长度，可以实现对无源腔谐振波长的调谐速率与对激光器的谐振波长的调谐速率一致，从而可以仅仅通过改变该调谐区的折射率，就可以实现对激光波长的无跳模调谐，而无需任何额外的同步调谐机制。
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公开(公告)号：CN100376908C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200610050488.4
申请日：2006-04-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种偏振非敏感的阵列波导光栅。与传统阵列波导光栅不同，所述偏振非敏感的阵列波导光栅的光程差由阵列波导区和平板波导区的光程差共同组成，利用平板波导区的双折射性质来补偿阵列波导区的双折射性质。平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线与平板波导区的光轴的夹角为大于0°小于180°非90°的角度，该夹角根据平板波导区与阵列波导区的双折射性质差别决定。本发明在不改变传统阵列波导光栅各个组成部分，同时不引入额外器件的基础上，补偿了偏振色散，解决了传统偏振补偿方法造成的器件性能变差，结构复杂等问题，适用于基于二氧化硅、磷化铟和硅等各种波导材料和各种波导结构的阵列波导光栅，具有制作简单、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN1715976A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510050515.3
申请日：2005-06-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波导光栅的单纤多重波分复用器，它包含一个衍射光栅、一个总端口和三个分端口，所述衍射光栅将第一波长的光信号从第一分端口耦合到总端口，将第二波长的光信号从总端口耦合到第二分端口，将第三波长的光信号从总端口耦合到第三分端口，利用所述衍射光栅的频谱周期性，使离第二、三波长较远的第一波长工作在不同的衍射级次，并将第一波长映射到与第二、三波长形成几乎等间距信道的第四波长，从而使得所述衍射光栅的自由光谱范围包含第二、三、四波长的总光谱范围，小于包含第一、二、三波长的总光谱范围。本发明减小了对光栅自由光谱范围的要求，解决了传统的基于光栅波分复用技术的单纤多重波分复用器存在的器件尺寸大，衍射级次小，制作困难的问题。
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