公开(公告)号：CN104060317A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201410194217.0

申请日：2014-05-09

Applicant: 浙江大学

Inventor： 徐杨 ,  任招娣 ,  骆季奎 ,  俞滨

IPC: C25D15/00

Abstract: 本发明公开的铜-石墨烯复相的制备方法，步骤如下：1）将基板用盐酸去除表面氧化物；2）将硫酸铜、硫酸、盐酸和表面活性剂配制成铜镀液；3）将石墨烯纳米片加入到铜镀液中，得到含石墨烯纳米片的电镀液；4）以磷铜片为阳极，基板为阴极，置于电镀液中电镀，得到铜-石墨烯复相。本发明直接将石墨烯与铜复合，避免了传统方法中GO的还原过程，工艺简单，可控性好，适用范围广，且制得的铜-石墨烯复相电性能、抗氧化性能、机械性能和抗腐蚀性能好。

公开(公告)号：CN103956354A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201410194159.1

申请日：2014-05-09

Applicant: 浙江大学

Inventor： 徐杨 ,  任招娣 ,  骆季奎 ,  俞滨

IPC: H01L23/538 ,  H01L21/768 ,  C25D15/00

Abstract: 本发明公开的以石墨烯为金属化层和扩散势垒层的互连线在绝缘基板上自下而上依次有石墨烯层和铜-石墨烯复相导电层。其制备步骤包括：将石墨烯转移到经清洗的绝缘基板上，使用光刻的方法对石墨烯进行图形化，然后在含石墨烯纳米片的电镀液中通过电镀的方法在该石墨烯上电镀形成铜-石墨烯复相导电层。本发明的互连线以石墨烯作为导电层的扩散势垒层，降低了扩散势垒层的厚度，有利于器件的小型化，并可降低导电层的表面粗糙度，提高其电导，且具有优异的抗腐蚀性能。石墨烯既作为金属化层，又作为导电层的扩散势垒层，简化了制备工艺。

公开(公告)号：CN103943601A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410194333.2

申请日：2014-05-09

Applicant: 浙江大学

Inventor： 徐杨 ,  任招娣 ,  骆季奎 ,  俞滨

IPC: H01L23/522 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明公开的具有铜-石墨烯复相的互连线在绝缘基板上自下而上依次有铜层和铜-石墨烯复相导电层。其制备步骤包括：使用化学镀的方法在经清洗的绝缘基板上沉积一层铜层，使用光刻的方法对该铜层进行图形化，然后在石墨烯纳米片的电镀液中通过电镀的方法在该铜层上电镀。本发明的互连线以铜-石墨烯复相作为导电层，提高了互连线的导电性、导热性、抗氧化性能、机械性能及抗腐蚀性能。

公开(公告)号：CN103943226A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410193892.1

申请日：2014-05-09

Applicant: 浙江大学

Inventor： 徐杨 ,  任招娣 ,  骆季奎 ,  俞滨

IPC: H01B7/18 ,  H01B7/28 ,  H01B13/22 ,  C25D15/00 ,  C25D7/06

Abstract: 本发明公开的具有镍-石墨烯复相护层的电线电缆，包括导电线芯和包裹在导电线芯外的镍-石墨烯复相护层，或者在护层外还有一层绝缘层。其制备包括：将硫酸镍、氯化镍、硼酸和表面活性剂配制成镍镀液；将石墨烯纳米片加入到镍镀液中，得到含石墨烯纳米片的电镀液；以镍片为阳极，去除表面氧化物的导电线芯为阴极，置于电镀液中电镀，得到具有镍-石墨烯复相护层的电线电缆，或在其外再包塑一层绝缘层。本发明的电线电缆具有重量轻、机械强度高、抗腐蚀性能优异等优点。