公开(公告)号：CN103575737B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201310303081.8

申请日：2013-07-18

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 江川弘一 ,  中田雅博

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种缺陷检查方法及缺陷检查装置，其课题在于提高缺陷的检测精度。缺陷检查方法包括：照射工序，从光源向被检查物照射可见光和不可见光；数据生成工序，分别接收由被检查物反射或透过被检查物的可见光和不可见光，并根据各受光量分别生成拍摄数据；判定工序，当比较可见光和不可见光下的、在拍摄数据的变动区域的该拍摄数据的变动程度而得的结果属于预先存储的成为缺陷的范围内时，判定为缺陷。

公开(公告)号：CN1072800C

公开(公告)日：2001-10-10

申请号：CN95103585.1

申请日：1995-03-24

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 清本浩伸 ,  安田成留 ,  江川弘一 ,  细川速美

IPC: G02B5/00 ,  G01D5/32 ,  G02B27/00

CPC classification number: G02B27/283 ,  B60H1/00785 ,  B60H3/06 ,  B60H2003/0683 ,  B60S1/0818 ,  B60S1/0833 ,  B60T8/17 ,  G01N21/21

Abstract: 用简单的结构正确地判别有无物体、表面状态、材质、光散射体等。从发光元件10将投射光向被检测物体1投射，将其反射光(透射光，散射光)入射到偏振光束分离器40上。利用受光元件20接收偏振光束分离器40的反射光，利用受光元件30接收透射光。取它们的受光信号为S，P时，根据S/P，S-P，S-kP，(S-P)/(S+P)等值进行判别。