公开(公告)号：CN104422547A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410407237.1

申请日：2014-08-18

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  吉田勇作 ,  汤本淳志 ,  铃木良孝

IPC: G01L1/10 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L7/082 ,  G01L7/022 ,  G01L7/08 ,  G01L9/0008 ,  G01L9/0047 ,  Y10T29/4913

Abstract: 本发明公开了一种谐振式压力传感器，该谐振式压力传感器包括：第一基底，其包括隔膜和布置在该隔膜上的至少一个凸部；以及至少一个谐振器，其布置在所述第一基底中，在所述凸部中包括该谐振器的至少一部分，并且该谐振器布置在所述凸部的顶部与所述第一基底的中间层之间。