公开(公告)号：CN102902155B

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201210262534.2

申请日：2012-07-26

Applicant: 株式会社 V 技术

Inventor： 野村义昭 ,  竹下琢郎 ,  桥本和重

IPC: G03F1/38 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种光掩模及曝光装置。光掩模(9)在同一掩模基板(10)上将掩模图案不同的多种图案区域(11)按照其中心轴相互平行的方式排列设置，并具备：在与各所述图案区域(11)的所述中心轴交叉的方向上，在与各中心轴偏离一定距离的位置处，分别按照纵长中心轴与所述中心轴平行的方式设置的细长状的多个开口部(12)；和在各所述开口部(12)内分别为了辨别所述掩模图案而设置的、与所述纵长中心轴交叉的至少一条细线状的辨别用标记(13)，将各所述开口部(12)内的辨别用标记(13)分别设置在各所述开口部(12)的纵长中心轴上的不同位置。

公开(公告)号：CN102902155A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201210262534.2

申请日：2012-07-26

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 野村义昭 ,  竹下琢郎 ,  桥本和重

IPC: G03F1/38 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种光掩模及曝光装置。光掩模(9)在同一掩模基板(10)上将掩模图案不同的多种图案区域(11)按照其中心轴相互平行的方式排列设置，并具备：在与各所述图案区域(11)的所述中心轴交叉的方向上，在与各中心轴偏离一定距离的位置处，分别按照纵长中心轴与所述中心轴平行的方式设置的细长状的多个开口部(12)；和在各所述开口部(12)内分别为了辨别所述掩模图案而设置的、与所述纵长中心轴交叉的至少一条细线状的辨别用标记(13)，将各所述开口部(12)内的辨别用标记(13)分别设置在各所述开口部(12)的纵长中心轴上的不同位置。