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公开(公告)号：CN102026892A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980116954.6
申请日：2009-06-09
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G1/00
CPC classification number: B65G1/02 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供一种储料器，即使是数量比以往少的空气清洁装置，由于存在腔室，也能够在腔室的开口部的下游侧的空气流中消除无风的部分和滞流的产生。因此，以数量比以往少的空气清洁装置也能够防止上述不良情况的发生，因此能够降低制造工厂的建设/运营成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101850883A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010145538.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
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公开(公告)号：CN108137257B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201680057557.6
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65H23/035
Abstract: 一种搬送带状体(W)的带状体搬送装置(1)，具备：多个非接触导引部(2、3、4)，绕挂有带状体的一部分，且以非接触的方式支持带状体；以及驱动部(5、6、7)，从沿着供给至所述多个非接触导引部之前的所述带状体的表面的垂线的方向观看时，以同一角度使所述多个非接触导引部中的至少两个非接触导引部朝同一方向转动。
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公开(公告)号：CN108137258A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057500.6
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65H23/32 , B65H20/10 , B65H23/032
Abstract: 本发明提供一种搬送带状体(W)的带状体搬送装置(1)，具备：多个非接触导引部(2、3、4)，挂绕有带状体的一部分，且以非接触的方式支撑带状体；驱动部(5、6、7)，使多个非接触导引部中的至少一个非接触导引部移动；以及控制部(10)，以使供带状体的宽度方向的第一边缘通过的路径长度与供宽度方向的第二边缘通过的路径长度不同的方式，借由驱动部使非接触导引部移动。
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公开(公告)号：CN105849020B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201580003385.X
申请日：2015-05-01
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65H23/24
CPC classification number: B65H23/24 , B65H23/32 , B65H2406/111 , B65H2515/342 , B65H2220/01 , B65H2220/02 , B65H2220/03
Abstract: 本发明提供一种张力控制装置，其具备：按压构件(1)，将气体喷吹于要赋予张力的对象物(W)，藉此以非接触方式来按压所述对象物(W)；致动器(3)，可改变所述按压构件(1)的位置；压力传感器(4)，用以检测所述气体的压力；间隙传感器(5)，用以检测所述对象物(W)自所述按压构件(1)浮起的浮起量；以及控制部(6)，根据所述压力传感器(4)的检测值及所述间隙传感器(5)的检测值而控制所述致动器(3)。
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公开(公告)号：CN102026892B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200980116954.6
申请日：2009-06-09
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G1/00
CPC classification number: B65G1/02 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供一种储料器，即使是数量比以往少的空气清洁装置，由于存在腔室，也能够在腔室的开口部的下游侧的空气流中消除无风的部分和滞流的产生。因此，以数量比以往少的空气清洁装置也能够防止上述不良情况的发生，因此能够降低制造工厂的建设/运营成本。
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