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公开(公告)号：CN110629276A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910532201.9
申请日：2019-06-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明减少附着于基板支架的电镀液的量。提供一种构成为保持基板的基板支架。该基板支架具有：第一保持部件；第二保持部件，构成为与上述第一保持部件一起夹住上述基板；密封部件，构成为在上述基板支架的内部形成被密封的空间；销，固定于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的一方；环，设置于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的另一方，与上述销卡合；以及移动机构，构成为使上述环沿周向移动。通过将上述销和上述环相互卡合上述第一保持部件与上述第二保持部件被相互固定。上述销以及上述环设置于上述被密封的空间的内部。
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公开(公告)号：CN304737051S
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201830140936.3
申请日：2018-04-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电连接端子。
2．本外观设计产品的用途：用于作为设在衬底镀敷装置的衬底保持器的保持器悬架上的连接端子，其与密封保持器内部的电接点通过布线而连接，在衬底保持器浸渍于镀敷槽时，与设于镀敷槽侧的供电板接触而向密封保持器内部的电接点通电，从而对配置于支承面上的衬底实施镀敷。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
5．省略视图：由于左视图与右视图对称，因此省略左视图。-
公开(公告)号：CN304731655S
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201830140064.0
申请日：2018-04-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电连接端子。
2．本外观设计产品的用途：用于作为设置于衬底镀敷装置的固定保持部件的下部电接点，其与可动保持部件所具有的上部电接点的下端部相抵接并通电，来对配置在支承面上的衬底（晶片）实施镀敷。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
5．省略视图：由于后视图与主视图对称，左视图与右视图对称，因此省略后视图和左视图。-
公开(公告)号：CN304624563S
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201730492689.9
申请日：2017-10-17
Applicant: 株式会社荏原制作所
Designer： 铃木洁
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电连接端子。
2．本外观设计产品的用途：用于衬底镀敷装置中，其前端部与晶片的周缘部抵接，在使晶片浸入到镀敷液中后通电来实施镀敷。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图1。
5．省略视图：由于设计1、设计2各自的左视图与右视图对称，故省略设计1、设计2的左视图。
6．指定基本设计：本外观设计产品是针对同一产品的2项相似外观设计，其中指定设计1为基本设计。 -
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