工序监视诊断装置及工序监视诊断程序

    公开(公告)号:CN104781741A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201380058447.8

    申请日:2013-09-05

    CPC classification number: G05B23/0235 G05B23/0275 G05B23/0208

    Abstract: 工序监视诊断装置具备:分类部;模型构建部,具有识别部及异常检测用数据定义部;以及监视诊断部,具有提取部及异常等级判断部。分类部基于属性信息对工序数据或者时序数据进行分类。识别部基于被分类的时序数据制作日常模式数据和非日常模式数据。异常检测用数据定义部基于非日常模式数据制作异常诊断模型。提取部提取被分类的工序数据相对于日常模式数据的背离度。异常等级判断部将背离度应用于异常诊断模型来计算异常检测用数据和阈值,并基于异常检测用数据是否超过阈值判断异常等级。

    最优控制装置以及最优控制方法

    公开(公告)号:CN113874794B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202080039159.8

    申请日:2020-05-27

    Abstract: 实施方式提供能够适应于控制对象工艺的动态而使极值控制更稳定地动作的最优控制装置、最优控制方法以及计算机程序。实施方式的最优控制装置具有第一梯度估计部、操作量决定部、第二梯度估计部以及参数调整部。第一梯度估计部基于表示评价量的信号来估计评价函数的雅可比式。操作量决定部通过对雅可比式的估计值进行积分来决定应使操作量移动的方向及量。第二梯度估计部基于表示评价量的信号来估计评价函数的黑塞式。参数调整部将被输入至操作量决定部的雅可比式的估计值除以基于评价函数的雅可比式或黑塞式的估计值的值而且是被调整为不为0的正则化信号,由此根据评价函数的变化来调整操作量决定部的积分增益。

    控制系统、控制装置、控制方法以及非暂时性存储介质

    公开(公告)号:CN107250929A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201680008335.5

    申请日:2016-02-01

    Abstract: 提供一种能够抑制对设备运用带来的影响、并且能够进行极值控制的控制系统。实施方式的控制系统(100)具有干扰信号取得部、控制量信息取得部、高频振动信号生成部(130)、评价值计算部(140)以及极值控制部(150)。高频振动信号生成部(130)在控制对象工艺的控制中参照干扰信号生成用于使向控制对象工艺提供的操作量变动的高频振动信号。评价值计算部(140)基于控制量信息,计算成为对控制对象工艺的控制量进行评价的指标的评价值。极值控制部(150)进行以下极值控制:基于由高频振动信号生成部生成的高频振动信号使操作量变动,一边搜索评价值的极值一边控制操作量。

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