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公开(公告)号:CN107250105B
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201680008616.0
申请日:2016-02-02
IPC: C07C251/66 , C07C251/68 , G03F7/004
Abstract: 本发明涉及新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物,详细而言,根据本发明的肟酯衍生物化合物由于敏感度、耐热性、耐光性、耐化学性和耐显影性优异,因此即使以少量使用也能够提供对TFT‑LCD制造工序中的曝光和后烘工序等有效的光聚合引发剂和光致抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号:CN107250105A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201680008616.0
申请日:2016-02-02
IPC: C07C251/66 , C07C251/68 , G03F7/004
Abstract: 本发明涉及新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物,详细而言,根据本发明的肟酯衍生物化合物由于敏感度、耐热性、耐光性、耐化学性和耐显影性优异,因此即使以少量使用也能够提供对TFT‑LCD制造工序中的曝光和后烘工序等有效的光聚合引发剂和光致抗蚀剂组合物。
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