公开(公告)号：CN100334476C

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200510003795.2

申请日：2005-01-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 野田俊成 ,  西原和成

IPC: G02B7/02

CPC classification number: G11B7/1372 ,  G02B7/021 ,  G11B7/22

Abstract: 本发明公开了一种透镜单元，其具有：带有开口和内壁、并具有通过该开口的光轴的镜筒；沿着其光轴配置于镜筒内的第1透镜；沿着其光轴配置于镜筒内的第2透镜；设置于镜筒内壁上、定位第1透镜和第2透镜的3个柱状体。3个柱状体分别具有相对光轴并与光轴倾斜的、与第1透镜外周和第2透镜外周相接的面。该透镜单元能够高精度地定位多个透镜。

公开(公告)号：CN1605653A

公开(公告)日：2005-04-13

申请号：CN200410076691.X

申请日：2004-07-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 野田俊成

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/228 ,  C23C14/0047 ,  C23C14/352 ,  H01J37/32 ,  H01J37/3402

Abstract: 一种溅射成膜装置，其包括：配置于真空容器(30)的内部的一对靶(31)；与这一对靶(31)大致垂直，并配置于离开一对靶(31)构成的空间的位置上的基板托架(33)；在该基板托架(33)的附近通过余辉等离子体而产生反应用等离子体的等离子体源(37)；连接该等离子体源(37)和真空容器(30)的导入管(38)。由于可在基板托架(33)的附近生成由余辉等离子体构成的反应用等离子体，所以对体积特性接近的化合物薄膜没有等离子体造成的损伤，并可以在低基板温度下进行成膜。