公开(公告)号：CN103081339A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180040667.9

申请日：2011-09-28

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 山内规裕 ,  小川纯矢 ,  松岛朝明 ,  相泽浩一

IPC: H02N2/18

CPC classification number: H01L41/1136 ,  H02N2/181 ,  H02N2/186

Abstract: 振动发电元件包括含有支撑部及悬臂部的基底基板、以及用于根据悬臂部的振动而产生交流电的发电部。发电部包括下部电极，其在基底基板的一个表面侧与悬臂部重叠地形成；第1压电层，形成在从悬臂部观察时的下部电极的相反侧；中间电极，形成在从下部电极观察时的第1压电层的相反侧；第2压电层，形成在从第1压电层观察时的中间电极的相反侧；以及上部电极，形成在从中间电极观察时的第2电极的相反侧。

公开(公告)号：CN103069708A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201180041011.9

申请日：2011-08-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 山内规裕 ,  小川纯矢 ,  松岛朝明 ,  相泽浩一

IPC: H02N2/00

CPC classification number: H01L41/1136 ,  H02N2/186

Abstract: 本发明涉及振动发电元件，具有：基底衬底，其具有支承部和能够自由摆动地被该支承部支承的悬臂部；以及发电部，形成在悬臂部上，与该悬臂部的振动相应地产生交流电，其中，发电部具有第一压电转换部和第二压电转换部，该第一压电转换部和第二压电转换部相互并列设置在基底衬底的一表面侧上的与悬臂部重叠的部位，并具有：将第一压电转换部及第二压电转换部共用的下部电极电连接的共用电极；以及单独连接第一压电转换部及第二压电转换部的各自的上部电极的单独电极。

公开(公告)号：CN102859735A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201180019864.2

申请日：2011-04-18

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小川纯矢 ,  山内规裕 ,  松岛朝明 ,  相泽浩一

IPC: H01L41/113 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01J5/04 ,  G01J5/34 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/1136 ,  B81B2201/032 ,  B81C1/00658 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/34 ,  G01P15/09 ,  G01P2015/0828 ,  H01L37/02 ,  H01L41/0815 ,  H02N2/186

Abstract: 一种强电介质器件，具备：下部电极（第1电极）（14a），形成在硅基板（第1基板）（10）的一表面侧；强电介质膜（14b），形成在下部电极（14a）的与第1基板（10）侧相反的一侧；以及上部电极（第2电极）（14c），形成在强电介质膜（14b）的与下部电极（14a）侧相反的一侧，强电介质膜（14b）由与硅之间存在晶格常数差的强电介质材料形成。在下部电极（14a）的正下方设置有缓冲层（14d），缓冲层（14d）由与强电介质膜（14b）之间的晶格匹配性比硅好的材料形成，在第1基板（10）上形成有空洞（10a），该空洞（10a）使缓冲层（14d）的与下部电极（14a）侧相反的一侧的表面露出。