弹性波元件与弹性波元件传感器

    公开(公告)号:CN102484466A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080037249.X

    申请日:2010-08-30

    Abstract: 本发明提供一种弹性波元件及弹性波元件传感器。弹性波元件构成为具备:压电体;输入IDT电极;进行输出的输出IDT电极;传播路径,其设置于这些输入IDT电极与输出IDT电极之间;第一电介质层,其以覆盖输入IDT电极及输出IDT电极的方式设置在压电体上;和反应部,其设置在传播路径上、且与检测对象物质或耦合物质进行反应,其中所述耦合物质与检测对象物质耦合;主要弹性波在输入IDT电极及输出IDT电极成为在压电体与第一电介质层之间进行传播的弹性边界波,而在传播路径成为在传播路径的上表面进行传播的弹性表面波。根据该构成,可以抑制元件特性劣化。

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