-
公开(公告)号：CN107851596A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680045256.1
申请日：2016-06-09
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor： 大西真司
IPC: H01L21/673 , B65G1/00
CPC classification number: B08B5/023 , B65G1/00 , F16K21/00 , H01L21/673
Abstract: 提供净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法，能够简化结构而实现小型化。具备：多个载置部(3)，供容器(F)载置，且被分组化；喷嘴(30)，形成为通过在载置部(3)载置容器(F)来开放朝容器(F)供给净化气体的流路；以及流量控制装置(32)，基于组(G)内的容器(F)的个数来调整朝组(G)内供给的净化气体的流量。
Search Results
11
records
(took 0.015 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
