被覆模具、被覆模具的制造方法及硬质皮膜形成用靶

    公开(公告)号:CN113574201A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202080021450.2

    申请日:2020-03-18

    Abstract: 提供一种能够发挥良好的滑动特性,进一步减少微滴且耐久性也优异的被覆模具。一种被覆模具、被覆模具的制造方法,所述被覆模具在作业面具有硬质皮膜,所述硬质皮膜包括A层,所述A层是a1层与a2层交替层叠而成,所述a1层是Cr系氮化物且厚度为100nm以下,所述a2层包含(V1‑aMa)(M是选自Mo、W中的至少一种)的氮化物或碳氮化物,M相对于V与M的合计的原子比a为0.05以上且0.45以下,且厚度为80nm以下。另外,提供一种硬质皮膜形成用靶,其可用于所述被覆模具的制造方法中。

Patent Agency Ranking