-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104508434B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201380040625.4
申请日：2013-06-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/6845
Abstract: 提供流量测定精度高的热式空气流量传感器。该热式空气流量传感器具有测定元件，该测定元件包括：半导体衬底；电绝缘体，其包括在上述半导体衬底上沉积薄膜而形成的发热电阻体、测温电阻体和氧化硅膜；和隔膜部，其是将半导体衬底的一部分除去而形成的，在上述隔膜部上形成有上述发热电阻体和上述测温电阻体，薄膜相对于上述测定元件的面积的占有面积的比率为40％～60％。
-
公开(公告)号：CN102735298B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210209399.5
申请日：2009-12-08
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
IPC: G01F1/692
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699 , G01F5/00 , Y10T29/49083
Abstract: 本发明提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中，上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应力的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5A、5B)和下游侧测温电阻体(5C、5D)的下层的绝缘膜，交替层叠了具有压缩应力的膜(第一绝缘膜(14)、第三绝缘膜(16)和第五绝缘膜(18))和具有拉伸应力的膜(第二绝缘膜(15)和第四绝缘膜(17))，且配置了2层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明的热式流体流量传感器，能够消除应力不均衡，提高检测灵敏度且提高可靠性。
-
公开(公告)号：CN102692255B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201110461924.8
申请日：2011-12-31
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
CPC classification number: H01L35/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2224/48091 , Y10T29/49082 , Y10T29/49124 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于解决现有技术中存在的下述课题：在同一基板上形成检测部和电路部的热式传感器中，由于用于保护电路部的绝缘膜，由加热器的灵敏度下降、检测部的残留应力变化而引起精度恶化。本发明通过以下技术手段解决上述课题：在发热电阻体(24)上设置包含多个绝缘膜的层叠膜(25-27)，在层叠膜上设置中间层(29)，在中间膜上设置包含多个绝缘膜的层叠膜(30、32、33)。另外，中间层是由氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化钛、氮化钨或钛钨中的任一种形成的层。通过上述结构，以中间层作为蚀刻停止层，能够除去检测部上部的层叠膜(30、32、33)，解决由其导致的灵敏度下降、残留应力变化等课题。
-
公开(公告)号：CN103975226A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201180075125.5
申请日：2011-11-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 本发明提供减少了测量误差的热式空气流量传感器。上述热式空气流量传感器包括：半导体衬底；形成于上述半导体衬底上的发热电阻体、测温电阻体和包含氧化硅膜的电绝缘体；和将上述半导体衬底的一部分除去而形成的膜片部，上述发热电阻体和上述测温电阻体形成在上述膜片部上，在上述发热电阻体和上述测温电阻体的上层具有作为上述电绝缘体而形成的氮化硅膜，其中，上述氮化硅膜形成有与上述发热电阻体和上述测温电阻体图案对应的台阶，并且，上述氮化硅膜为多层构造。
-
公开(公告)号：CN101750123A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910253536.3
申请日：2009-12-08
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
IPC: G01F1/692
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699 , G01F5/00 , Y10T29/49083
Abstract: 本发明提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中，上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应力的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5A、5B)和下游侧测温电阻体(5C、5D)的下层的绝缘膜，交替层叠了具有压缩应力的膜(第一绝缘膜(14)、第三绝缘膜(16)和第五绝缘膜(18))和具有拉伸应力的膜(第二绝缘膜(15)和第四绝缘膜(17))，且配置了2层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明的热式流体流量传感器，能够消除应力不均衡，提高检测灵敏度且提高可靠性。
-
-
-
-
Search Results
15
records
(took 0.026 seconds)
