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公开(公告)号：CN109890772A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201780067500.9
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 在将玻璃基板(2)以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)之间形成的处理空间(13)的同时，使用从供气口(14)向处理空间(13)供给且通过排气口(15)从处理空间(13)排出的处理气体(4)，来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，所述供气口(14)设置于主体部(5a)，所述排气口(15)分别设置于主体部(5a)的输送方向的上游侧端部及下游侧端部，此时，在上游侧端部的排气口(15)与下游侧端部的排气口(15)之间，沿着输送方向配置多个供气口(14)，从各供气口(14)供给处理气体(4)。
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公开(公告)号：CN118843609A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202380028366.7
申请日：2023-04-27
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 玻璃板的清洗装置（1）具备：上旋转轴（13）；以及上清洗构件（15），其设置于上旋转轴（13）的下端部。上旋转轴（13）在内部具备向上清洗构件（15）供给清洗液（CL）的上清洗液供给路（21）。上清洗液供给路（21）具备：流入口（21a），其设置于上旋转轴（13）的上端面，并使从清洗液供给部（6）供给的清洗液（CL）流入；以及流出口（21b），其设置于上旋转轴（13）的下端面，并使从流入口（21a）流入的清洗液（CL）流出。
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公开(公告)号：CN109843822B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780064645.3
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(8aa)搬入到腔室(8)内的玻璃基板(2)以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在搬运路径上的处理器(5)所供给的处理气体(4)对该玻璃基板的下表面(2a)实施蚀刻处理，之后将处理后的玻璃基板(2)从搬出口(8ab)向腔室(8)外搬出，其中，从配置在腔室(8)内的比搬运路径靠上方侧的吸引口(12a)向腔室(8)外进行排气。
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公开(公告)号：CN111356663A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880073224.1
申请日：2018-10-17
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 玻璃基板(1)具有第一主表面(2)和第二主表面(3)。第一主表面(2)的表面粗糙度Ra为0.2nm以下，第二主表面(3)的中央区域(4)的表面粗糙度Ra为0.3nm以上且1.0nm以下，在第二主表面(3)的外周区域(5)中，设置有显示出比中央区域(4)的表面粗糙度Ra大0.2nm以上的表面粗糙度Ra的表面粗糙化区域(A)。
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公开(公告)号：CN109843822A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780064645.3
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(8aa)搬入到腔室(8)内的玻璃基板(2)以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在搬运路径上的处理器(5)所供给的处理气体(4)对该玻璃基板的下表面(2a)实施蚀刻处理，之后将处理后的玻璃基板(2)从搬出口(8ab)向腔室(8)外搬出，其中，从配置在腔室(8)内的比搬运路径靠上方侧的吸引口(12a)向腔室(8)外进行排气。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109843821A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780064578.5
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，包含如下工序：在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，使得通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的同时，使用处理气体(4)，对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，其中，从设置于主体部(5a)的供气口(14)向处理空间(13)供给该处理气体(4)，并且，通过分别设置于主体部(5a)的搬运方向的上游侧端部及下游侧端部的排气口(15)从处理空间(13)排出该处理气体(4)，关于沿着搬运方向的距离，下游侧端部的排气口(15)与最下游侧的供气口(14)的相互间距离(D2)比上游侧端部的排气口(15)与最上游侧的供气口(14)的相互间距离(D1)长。
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公开(公告)号：CN109790064A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059814.4
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 本发明提供一种玻璃基板(2)的制造方法，其中，在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的过程中，利用从主体部(5a)具备的供气口(14)供给到处理空间(13)的处理气体(4)来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理之际，朝向搬运方向的下游侧喷射第一吹扫气体6，以使得在形成于玻璃基板2中的进入到处理空间(13)的部位与顶板部(5b)之间的间隙(13a)，形成沿着搬运方向的第一吹扫气体(6)的流动，其中，在玻璃基板(2)的最后部(2e)进入处理空间(13)之前，停止喷射第一吹扫气体(6)。
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公开(公告)号：CN216324041U
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202090000578.6
申请日：2020-06-10
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 一种可靠地降低在搬运玻璃板的同时对玻璃板进行清洗时产生的清洗不均的玻璃板的清洗装置，其利用清洗列，在搬运玻璃板的同时对所述玻璃板进行清洗，所述清洗列包括在与所述玻璃板的搬运方向交叉的规定的排列方向上隔开间隙地配置的多个清洗盘，其特征在于，所述清洗列在从所述搬运方向观察的情况下，所述清洗盘排列为相同列所包括的相邻的所述清洗盘相互重叠。
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公开(公告)号：CN210557972U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921538697.2
申请日：2019-09-16
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本实用新型提供一种能够抑制搬运辊的挠曲进而防止板状构件的搬运变得困难的搬运装置。搬运装置(3)配置在板状构件(玻璃板G)的清洗装置(4)及干燥装置(5)中，具有在所述板状构件(玻璃板G)的搬运方向上排列配置的多个搬运辊(41、51...)，所述干燥装置(5)中的所述搬运辊(51)的至少一部分是双层管搬运辊，其轴部(52)由金属制外管(521)和碳纤维强化树脂制内管(522)构成。
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公开(公告)号：CN215902405U
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202122068557.7
申请日：2021-08-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本实用新型提供能够维持齿轮彼此的啮合状态的板玻璃清洗装置。板玻璃清洗装置(1)具备多个旋转轴(11、11…)、在多个旋转轴(11)的一端分别设置的多个清洗构件(12、12…)以及在多个旋转轴(11、11…)的另一端分别设置且以相互啮合的状态配置的多个齿轮(13、13…)，还具备对齿轮(13)的轴心的偏摆进行抑制的偏摆防止构件(30)。
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