感光树脂组合物、抗蚀剂层压体及它们的固化产物

    公开(公告)号:CN104813235B

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201380061192.0

    申请日:2013-11-21

    Abstract: 本发明的目的是提供以下:感光环氧树脂组合物,其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像,所述图像具有垂直侧壁和并且耐湿热;和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体;以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物,其含有以下:环氧树脂(A),具有特定结构的多元酚化合物(B),阳离子聚合光引发剂(C),含环氧基的硅烷化合物(D),和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物,通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a),和式(2)表示的环氧树脂(b)。反应性环氧单体(E)是双酚环氧树脂。

    光敏树脂组合物及其固化产物

    公开(公告)号:CN103718108B

    公开(公告)日:2017-07-04

    申请号:CN201280037959.1

    申请日:2012-07-26

    CPC classification number: G03F7/038 C08G59/42 G03F7/40

    Abstract: 本发明涉及一种碱显影型光敏树脂组合物,包含:多羧酸树脂(A),其通过使在两末端具有环氧基并且环氧当量为600g/当量~1,300g/当量的双官能双酚环氧树脂(a)和具有醇羟基的一元羧酸化合物(b)的反应产物(ab)与多元酸酐(c)反应而得到;在一个分子中具有两个以上环氧基的环氧树脂(B);以及光酸产生剂(C),其中所述一元羧酸化合物(b)对所述环氧树脂(a)的1当量环氧基的加成率为80当量%以上;并且所述多元酸酐对所述反应产物(ab)的1当量伯羟基的加成率为80当量%以上。

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