一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法

    公开(公告)号:CN111705304A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010655206.3

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本发明的设备和方法,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。

    复杂湍流环境下UCTD中传感器响应时间同步匹配方法

    公开(公告)号:CN119509488B

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510080377.0

    申请日:2025-01-20

    Abstract: 本发明涉及传感器数据处理领域,公开了一种复杂湍流环境下UCTD中传感器响应时间同步匹配方法,包括如下步骤:利用温控水流槽产生不同的流速和湍流强度,将UCTD探头置于温控水流槽中测量不同流速和湍流强度下的温度和电导率,记录UCTD中温度和电导率传感器在不同流速和湍流强度下的响应时间;通过对记录的实验数据进行多项式回归分析,建立温度和电导率传感器响应时间模型;使用梯度下降法最小化模型预测值与实际值之间的误差,优化模型中的参数;利用优化后的模型建立同步响应时间模型,对温度传感器和电导率传感器的响应时间差异进行同步匹配。本发明所公开的方法极大地提高了UCTD在海洋环境监测中数据的准确性和可靠性。

    一种检测过氧化氢浓度的电化学电极及其检测装置和方法

    公开(公告)号:CN119470589A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411654942.1

    申请日:2024-11-19

    Abstract: 本发明提出了一种检测过氧化氢浓度的电化学电极及其检测装置和方法。本发明包括旋转电极、静电极和参比电极,旋转电极包括依次连接的驱动电机、旋转杆和旋转体,旋转体的内部设有第一集流体且底部镶嵌有检测电极;静电极包括绝缘外壳、第二集流体和对电极,第二集流体设置于绝缘外壳的内部,对电极镶嵌在绝缘壳体的顶部并平行设置于检测电极的正下方。本发明还给出了设有上述电化学电极的过氧化氢浓度检测装置以及在该检测装置上进行过氧化氢浓度检测的方法。本发明在过氧化氢浓度检测过程中,检测电极表面的过氧化氢浓度保持相对稳定,与整个过氧化氢溶液本身的浓度接近,检测结果误差小,重现性好,检出限低,检测范围大,检测效率高。

    一种海洋温度传感器动态补偿方法

    公开(公告)号:CN119469476A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202510065210.7

    申请日:2025-01-16

    Abstract: 本发明涉及传感器数据处理领域,公开了一种海洋温度传感器动态补偿方法,包括如下步骤:制造不同温度梯度的盐水分层,获取传感器在不同运动速度和温度梯度下的阶跃响应曲线,计算相应的时间常数,建立数据集;构建时间常数与运动速度及温度梯度之间的关系模型,利用粒子群优化算法及数据集对关系模型进行参数寻优,得到最优的关系模型;根据海洋温度传感器实时测量的温度值和运动速度计算实际环境的温度梯度;使用最优的关系模型计算海洋温度传感器的时间常数,调整滤波器的参数,实现动态补偿。利用本发明的时间常数与运动速度及温度梯度之间的关系模型可以实时调整传感器的时间常数,保证传感器在不同环境条件下的响应速度和测量精度。

    一种平行结构的石墨烯-金刚石复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN119194399A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411331838.9

    申请日:2024-09-24

    Abstract: 本发明公开了一种平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法,包括如下步骤:采用微波化学气相沉积的方法,在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜,通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜;利用微波等离子体技术,通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石;在低真空环境下,通过热丝加热甲烷、氢气的混合气体,热解产生石墨烯生长所需的碳原子,碳原子吸附在金刚石表面成核后二维重构,最终得到平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了石墨烯转移技术带来的破坏。该复合结构的表面可以表现出导体或半导体特性,在半导体芯片领域具有极大的应用潜力。

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