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公开(公告)号:CN1947209B
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200480042925.7
申请日:2004-05-31
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置,与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a~27d和/或29a~29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动,调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
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公开(公告)号:CN101752088A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910221923.9
申请日:2009-11-23
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了可变电容元件。可变电容元件包括:基板;设置在基板上的信号线;设置为横跨信号线并且具有被固定到基板的第一端和第二端的可移动电极;以及设置在可移动电极两端中的至少一个与基板之间的固定电容部分。
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公开(公告)号:CN1815646B
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200510066849.X
申请日:2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的,但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压,通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离,从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时,首先,在中心,第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触,其间夹有电介质层。然后,第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触,接触面积逐渐增加。
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公开(公告)号:CN100492575C
公开(公告)日:2009-05-27
申请号:CN200510108574.1
申请日:2005-10-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: 一种微型开关元件,包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板,并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部,其设置于该活动部的第二表面上;以及一对固定接触电极,每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
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公开(公告)号:CN1815646A
公开(公告)日:2006-08-09
申请号:CN200510066849.X
申请日:2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的,但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压,通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离,从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时,首先,在中心,第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触,其间夹有电介质层。然后,第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触,接触面积逐渐增加。
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公开(公告)号:CN102800478B
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201210247006.X
申请日:2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成,该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层,当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时,该第一电极或该第二电极发生位移,以导通或断开电路,其中,选择并形成该介电层的材料和厚度,使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时,该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10%或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生,并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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公开(公告)号:CN104115392A
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201280069817.3
申请日:2012-03-14
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H02N2/00
CPC classification number: H02N2/186 , H01L41/125
Abstract: 本发明提供一种使用逆磁致伸缩现象且具有新结构的发电装置。发电装置具有:支撑构件;第一磁致伸缩构件,一端侧安装在支撑构件上,使得一端侧成为固定端而另一端侧成为振动端;第二磁致伸缩构件,与第一磁致伸缩构件并列配置且一端侧安装在支撑构件上,使得一端侧成为固定端而另一端侧成为振动端;振动联动构件,连接第一磁致伸缩构件和第二磁致伸缩构件,使得第一磁致伸缩构件和第二磁致伸缩构件联动振动;线圈,缠绕在第一磁致伸缩构件以及第二磁致伸缩构件中的至少一个磁致伸缩构件的周围;以及磁路形成构件,具备磁铁,将第一磁致伸缩构件和第二磁致伸缩构件各自的一端侧之间以及各自的另一端侧之间磁性连接,在第一磁致伸缩构件和第二磁致伸缩构件上施加有相反方向的磁场,形成第一磁致伸缩构件和第二磁致伸缩构件相互成为磁路返回部的磁路。
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公开(公告)号:CN103843100A
公开(公告)日:2014-06-04
申请号:CN201180073883.3
申请日:2011-10-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01H57/00
CPC classification number: H01L41/094 , B81B2201/016 , B81C1/00976 , H01H57/00 , H01H2057/006
Abstract: 提供一种容易制造并且能够有效抑制粘连的MEMS开关。MEMS开关具有:固定支撑部;板状挠性梁,至少一端被固定支撑在固定支撑部上,具有延伸的活动表面;活动电气触点,配置在挠性梁的活动表面上;固定电气触点,位置相对于固定支撑部固定,与活动电气触点相对置;第一压电驱动元件,从固定支撑部朝向活动电气触点而在挠性梁的活动表面的上方延伸,能够通过电压驱动使活动电气触点向固定电气触点发生位移;以及第二压电驱动元件,至少配置在挠性梁的活动表面上,通过电压驱动,向活动电气触点远离固定电气触点的方向驱动挠性梁的活动部。
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公开(公告)号:CN103843089A
公开(公告)日:2014-06-04
申请号:CN201180073760.X
申请日:2011-10-19
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01L28/60 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0078 , H01H2059/0045 , H01H2059/0072 , H01L21/6835 , H01L21/687 , H02N1/006
Abstract: 提供能够抑制因热膨胀而引起的可动电极位移的可动电气设备。可动电气设备具有:支撑衬底;第一以及第二固定电极,其形成于支撑衬底上,具有相对于支撑衬底的表面大致垂直的相向电极面,在相向电极面之间划定内腔;可动部,其具有可动电极和弯曲弹簧部,可动电极的第一端接近第一固定电极,第二端接近第二固定电极,弯曲弹簧部与可动电极的第一端、第二端的至少一方连续,且包含向可动电极的厚度方向弯曲的部分;第一、第二固定件,其配置在支撑衬底上,支撑可动部的两端。
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公开(公告)号:CN102800478A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201210247006.X
申请日:2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成,该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层,当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时,该第一电极或该第二电极发生位移,以导通或断开电路,其中,选择并形成该介电层的材料和厚度,使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时,该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10%或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生,并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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