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公开(公告)号：CN118565290A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410690625.9
申请日：2024-05-30
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种长管内孔自动测量装置的标定装置及标定方法，所述的标定装置，包括大理石底座、头部基座、尾部基座、直线导轨、导轨定位块、滑块、支座、标定环A和标定环B。由于本发明采用双标定环标定，即在同一待测截面位置对两个不同尺寸的标定环进行测量，通过所述方程组进行计算，用两标定环半径和测距元件的两次测量值这四个已知变量，来同时解出悬臂值和偏心量这两个未知变量，实现同时对偏心量和悬臂值进行标定，减小传统标定产生的人为误差，提高了测量装置标定效率和稳定性；由于本发明头部基座和尾部基座的内孔具有很高的加工精度，标定环自身也具有很高的精度，又通过塞规检测并保证孔径精度，从而保证标定结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN118321471A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410415404.0
申请日：2024-04-08
Applicant: 大连理工大学
IPC: B21H3/04
Abstract: 本发明公开了一种可抑振的螺纹牙底滚压刀具及滚压方法，所述滚压刀具包括螺纹滚压刀、加速度传感器和电磁作动器，所述加速度传感器固定安装在螺纹滚压刀上，所述螺纹滚压刀与电磁作动器固定连接；所述电磁作动器包括底板、外壳、线圈架、磁轭、长轴、弹簧A、弹簧B、线圈、永磁体和短轴。由于本发明采用加速度传感器去检测螺纹牙底滚压过程中滚压刀具产生的振动，根据F振动＝ma计算得到引起振动的力的数值，并将F振动及力的方向反馈给电流控制器，电流控制器通过改变通入电流I的方向和大小，使F安抵消F振动，实现了滚压过程中螺纹牙底滚压力波动范围的减小。
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公开(公告)号：CN118106864A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410378316.8
申请日：2024-03-29
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种具备过压泄荷功能的磨抛一体减薄机，包括U型拖板，U型拖板内侧设有三组Z1导轨，主轴单元通过导轨滑块副与U型拖板连接；U型拖板上方设有两个恒压气缸，恒压气缸的活塞杆与主轴单元上侧固定连接，主轴单元在Z向为浮动安装；主轴单元可由Z2电机驱动沿Z向进给，转台可由X轴电机驱动沿X向移动。本发明采用恒压气缸作为主轴单元的支撑元件，可调节主轴单元为浮动状态，在磨削过程中若因砂轮堵塞等原因导致进给磨削力大于恒压气缸保持压力时会主动泄荷，主轴单元会沿Z向抬升，防止晶圆被压碎；同时，恒压气缸还可作为主轴单元在Z向进给的压力控制元件，通过调节恒压气缸的进气压力和方向可以实现对晶圆的恒压抛光加工。
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公开(公告)号：CN117300280A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311314405.8
申请日：2023-10-11
Applicant: 大连理工大学
IPC: B23G9/00
Abstract: 本发明公开了一种用于外螺纹牙底和收尾处的恒力滚压刀具及滚压方法，所述刀具包括滚压刀头、压力传感器、电磁力装置、盖板、刀柄、激光传感器和磁铁。由于本发明采用电磁力装置利用安培力来驱动滚压轮滚压高强度螺栓，滚压轮对螺纹牙底产生滚压力，保证匀强磁场强度B和导体棒的长度L不变，滚压开始前压力传感器向电压控制器反馈压力的大小，电压控制器通过改变电压大小，来保证电流I的大小达到设定值，依据F安＝BIL，实现了滚压过程中滚压力保持恒定。本发明采用激光传感器，刀塔控制器依据进给速度和激光传感器反馈的位置信息自动计算退刀的位置，实现了滚压刀具将整个螺纹收尾处滚压完毕才会执行退刀命令，提高了滚压精度和滚压效率。
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公开(公告)号：CN116921376A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310846914.9
申请日：2023-07-11
Applicant: 大连理工大学
IPC: B08B13/00
Abstract: 本发明公开了一种气动式深孔自动清理装置的锁紧单元，所述锁紧单元包括连板、锁紧气缸、拉杆、调节螺管、调节螺母、闸线、闸豆、压弹簧、摆动臂、制动环、连接弹簧、托块和压力传感器。本发明采用锁紧气缸驱动制动环撑开与收回，实现装置沿深孔轴线的单向锁定，使本发明能够自动沿深孔轴线进行单向运动，降低了控制的复杂程度；本发明的两个制动环通过两侧的两根连接弹簧相连接，与装置采用柔性连接方式，方便在制动环磨损后进行快速、方便的拆卸与更换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116463061A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310428565.9
申请日：2023-04-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: C09G1/02 , B24B37/04 , B24B53/017 , B24B37/10
Abstract: 本发明提供了一种基于光场耦合的超薄激光晶体化学机械抛光液及其制备、抛光方法。所使用的抛光液包含A、B两组分，A组分由氧化剂、磨料、分散剂和去离子水构成，B组分由紫外光光催化剂和去离子水构成。实验设置表现为抛光盘转速60‑80r/min，抛光压力20‑40KPa，抛光液流速6‑10ml/min，紫外光照射，A、B组分以相同流速滴加到抛光垫上。经此抛光方法加工后的激光晶体，表面粗糙度为Ra0.15‑0.3nm，面型精度PV值为λ/7(λ＝632.8nm)，材料去除率可达26nm/min，加工后的晶体表面无划痕及明显损伤，能够实现激光晶体的高效高质加工。相比传统硅溶胶化学机械抛光，晶体表面粗糙度有所降低，面型精度得到提升，加工效率提升2倍以上，能够有效缩短工时。
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公开(公告)号：CN116296963A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310262190.3
申请日：2023-03-17
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于刀具检测设备领域，涉及一种用于刀具拆装及其磨损检测的集成装置。该集成装置由检测装置台架、摄像头支架、摄像头、刀具磨损检测装置、刀具拆装装置组成。刀具拆装装置利用弹簧夹具和三爪卡盘夹持刀具配合电机驱动实现刀具快速精确地拆卸与安装；刀具磨损检测装置上的磁吸夹头与弹簧夹具采用磁吸的配合方式对刀具进行精确定位、装夹，通过六个电机分别控制刀具在X、Y、Z平面的移动和X轴、Y轴、Z轴的转动。本发明装置结构简单紧凑，操作方便，检测效率高，通用性强，可以保证刀具拆卸与安装前后夹持位置一致以避免重新对刀，提高加工效率，保证加工精度。
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公开(公告)号：CN115890024A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211408264.1
申请日：2022-11-10
Applicant: 大连理工大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , B23K26/062
Abstract: 本发明提供一种超快激光加工矩形斜孔的方法。本发明基于“线‑面‑体”层层递进的研究思路，首先进行超快激光划槽试验确定光斑重叠率、激光功率等参数；其次进行线重叠率试验根据相关评价标准选择合适的线重叠率；再其次进行面扫描试验，根据加工效果得出烧蚀深度相关参数的映射关系，同时选择合适的面扫面轨迹并选取合适的进给量作为焦点下移距离；最后进行通孔试验，根据实际加工需求按权重优选试验加工参数，最终实现矩形斜孔的加工。本发明系统地建立了超快激光加工矩形斜孔的加工参数确定方法，实现不同倾角矩形孔的高质高效加工，同时工程化应用程度高、生产成本低。
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公开(公告)号：CN115780847A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211415558.7
申请日：2022-11-11
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种可换刀头式蜂窝芯超声插切刀具，包括依次相连的连接段、紧固段和切削段，连接段通过连接段外螺纹与超声变幅杆相连。切削段具有依次相连的切削段外螺纹、圆柱形过渡段、锥台形过渡段和切削刃段构成的外壁，以及圆柱形孔和锥台形孔构成的内壁。装配时，首先将紧固段与切削段配合，其次将连接段与切削段配合，最后向连接段方向锁紧所述紧固段。当切削刃发生磨破损后，可对切削刃进行修磨，并缩短连接段和切削段的配合长度对修磨后损失的长度进行补偿，以使刀具的总长保持不变，当切削刃无法继续修磨时只需更换切削段。本发明可降低刀具的制造和使用成本，修磨后的刀具仍具有良好的加工精度、可用性和最佳的振动特性，切屑清理方便。
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公开(公告)号：CN115682995A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211296005.4
申请日：2022-10-21
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法，所述测量装置包括激光测距传感器、n个电涡流测距传感器、n个测量晶片单元和进给单元。本发明通过激光测距传感器实时获得激光测距传感器测头与测量晶片上表面和下表面距离，其中激光测距传感器测头与测量晶片下表面距离能反映抛光垫表面各点高度，计算能得抛光垫平面度，激光测距传感器测头与测量晶片上表面和下表面距离之差为测量晶片厚度。本发明采用间接测量的方法，消除测量对抛光过程的影响，避免探头损耗，并且测量过程不受抛光液干扰，能克服抛光垫多孔材质和开槽设计造成测量精度低的问题，本发明采用标准光学平晶标定，以补偿运动误差和装调误差，本发明中测量晶片单元中采用砝码加载方式，结构简单可靠，加载精度高。
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