一种压力传感器及其平面复合差动方法

    公开(公告)号:CN1126947C

    公开(公告)日:2003-11-05

    申请号:CN00123298.3

    申请日:2000-11-23

    Abstract: 一种压力传感器及其平面复合差动方法属于传感器技术领域,主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题,本发明包括带引压管的基座、带通道孔、双杯、双膜、双岛的基体、电容的上、下电极、上电极固定板;压力从引压管加入,经通道孔分流进入左杯和右杯,使双膜同时上移,推动双岛同时上移,改变两电容电极板的间距,使C1+ΔC、C2-ΔC,形成电容量的差动变化。

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