公开(公告)号：CN1670628B

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200510055829.2

申请日：2005-03-15

Applicant: 大赛璐化学工业株式会社

Inventor： 松田洋和 ,  堀口明 ,  大谷浩司 ,  高桥一史

IPC: G03F7/42 ,  C11D7/26

Abstract: 本发明提供一种在调制抗蚀剂时的溶解性、抗蚀剂稳定性和安全性都优异的抗蚀剂组合物。所述抗蚀剂组合物包括抗蚀剂成分与有机溶剂，所述有机溶剂是从(a1)烷基碳原子数为2或2以上的一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一、二或三丙二醇芳基醚、(a4)1，3-丁二醇或甘油的烷基醚、(b1)烷基碳原子数为3或3以上的乙酸一丙二醇烷基醚酯、(b2)乙酸二或三丙二醇烷基醚酯、(b3)乙酸一、二或三丙二醇芳基醚酯、(b4)乙酸1，3-丁二醇或甘油的烷基醚酯以及(b5)乙酸C3-4链烷多醇酯中选出的至少1种。

公开(公告)号：CN1928725A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200610126759.X

申请日：2006-09-06

Applicant: 大赛璐化学工业株式会社

Inventor： 堀口明 ,  片山彻

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明提供对抗蚀剂、防反射膜等的溶解性、剥离性好的光刻用清洗剂或冲洗剂。光刻用清洗剂或冲洗剂包含：溶剂A和溶剂B，其中，溶剂A选自(a1)丙二醇－1－烷基醚乙酸酯、(a2)1，3－丁二醇－3－烷基醚乙酸酯及(a3)乙酸烷基酯中的至少1种，溶剂B选自(b1)丙二醇－1－烷基醚及(b2)1，3－丁二醇－3－烷基醚中的至少1种，该清洗剂或冲洗剂与等体积的水混合时可形成均质溶液。

公开(公告)号：CN1670628A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN200510055829.2

申请日：2005-03-15

Applicant: 大赛璐化学工业株式会社

Inventor： 松田洋和 ,  堀口明 ,  大谷浩司 ,  高桥一史

IPC: G03F7/42 ,  C11D7/26

Abstract: 本发明提供一种在调制抗蚀剂时的溶解性、抗蚀剂稳定性和安全性都优异的抗蚀剂组合物。所述抗蚀剂组合物包括抗蚀剂成分与有机溶剂，所述有机溶剂是从(a1)烷基碳原子数为2或2以上的一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一、二或三丙二醇芳基醚、(a4)1，3－丁二醇或甘油的烷基醚、(b1)烷基碳原子数为3或3以上的乙酸一丙二醇烷基醚酯、(b2)乙酸二或三丙二醇烷基醚酯、(b3)乙酸一、二或三丙二醇芳基醚酯、(b4)乙酸1，3－丁二醇或甘油的烷基醚酯以及(b5)乙酸C3－4链烷多醇酯中选出的至少1种。