用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101422704B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200810131734.8

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,是使用薄膜支持基板的氢气制造用过滤器的制造方法,其特征是,薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在该柱状凸部的非形成部位以贯通金属基板的方式形成的多个贯通孔,并且,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20%~90%的范围,氢气制造用过滤器的制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面的相反一侧的面上,配设绝缘性薄膜的配设工序;在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成镀铜层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的镀铜工序;把镀铜层平坦地除去,使柱状凸部的上端面露出,并与该上端面构成相同的同一平面的平坦化工序;通过电镀在柱状凸部的上端与镀铜层构成的平坦面上形成Pd合金膜的膜形成工序;及在除去绝缘性薄膜后,通过选择性蚀刻除去镀铜层的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101318109B

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200810110279.3

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:在导电性基体材料的两面上,形成给定的抗蚀图案,以该抗蚀图案为掩模,从两面对所述导电性基体材料进行蚀刻,形成多个贯通孔的蚀刻工序;通过电解电镀形成Pd合金膜,以便将所述导电性基体材料的所述贯通孔内堵塞的膜形成工序;以及除去所述抗蚀图案的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101318110B

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN200810110282.5

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序;在所述导电性基体材料的一个面上,通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种,使Pd合金膜成膜,形成导电性基底层的基底形成工序;在所述导电性基底层上通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;以及只溶解所述树脂部件将其除去的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN100467102C

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200510003379.2

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔,在膜形成工序中,通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜,在除去工序中,通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101318110A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200810110282.5

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序;在所述导电性基体材料的一个面上,通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种,使Pd合金膜成膜,形成导电性基底层的基底形成工序;在所述导电性基底层上通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;以及只溶解所述树脂部件将其除去的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

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