公开(公告)号：CN101587131A

公开(公告)日：2009-11-25

申请号：CN200910203811.0

申请日：2009-05-13

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 前川慎志

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  B81B7/02

CPC classification number: G01P15/18 ,  B81B3/0078 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

Abstract: 本发明提供一种具有高耐冲击力的加速度传感器，当向加速度传感器施加过度加速时，其不会被破坏，而是能够展现稳定的感应性能。加速度传感器由三层结构的SOI衬底11形成，所述三层结构包括硅层12(活性层硅)、二氧化硅层13和硅层14(衬底硅)。加速度传感器包括：框架部分23和27；多个梁部分22，梁部分从框架部分向内伸出；和由梁部分22支撑的重物部分21；以及设在梁部分2a的每一部分上的应变感应部分。梁部分22的每一部分的宽度W、梁部分22的每一部分的长度I以及框架部分23的内部框架长度L满足表达式(1)和(2)的下述关系：2＜L/I≤2.82 表达式(1)；I/W≤3.68 表达式(2)。