公开(公告)号：CN101351276B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN200580052474.X

申请日：2005-12-28

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 中岛吉纪 ,  坂本泰宏 ,  樋口馨 ,  浅井重美

IPC: B05C5/00 ,  B41J2/01 ,  B41J3/54

CPC classification number: B41J3/28 ,  B41J2/155 ,  B41J2/16588 ,  B41J3/543 ,  B41J19/20 ,  B41J2202/20

Abstract: 本发明提供具备保持基板(50)并可沿基板运送方向即第2方向往复动作的运送台(11)和与第2方向正交的方向即第1方向大致平行的多根横梁(12)的液滴涂布装置(1)。在各横梁(12)上与基板(50)的表面相对地设有多个液滴吐出单元(2)，多个液滴吐出单元(2)分别可在可移动区域内沿第1方向在滑块机构(20)的作用下独立移动。

公开(公告)号：CN101460257B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200780020779.1

申请日：2007-04-16

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 中岛吉纪 ,  樋口馨 ,  田村寿宏

IPC: B05C5/00

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B41J3/28

Abstract: 一种液滴涂布装置，包括：具有供基板(10)进行载放的载放面(11a)的基座(11)、以可相对于基座(11)沿箭头A方向移动的形态安装在基座(11)上的臂部(4)、以及以可沿箭头B方向移动的形态安装在上述臂部(4)上并朝载放在上述载放面(11a)上的上述基板(10)排出液滴的多个液滴排出部(6)。上述液滴排出部(6)安装在上述臂部(4)的第一横梁部(41)的安装面(41b)以及上述臂部(4)的第二横梁部(42)的安装面(42b)上。

公开(公告)号：CN102198440A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110081383.6

申请日：2011-03-24

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 中谷政次 ,  樋口馨

IPC: B05C9/14 ,  B05D1/38 ,  B05D1/02 ,  B05C13/00 ,  B05C11/00

Abstract: 本发明公开一种液体涂布装置及液体涂布方法。液体涂布装置(10)包括对工件(21)的预定位置涂布预定形状的功能性液体的喷墨头(1)。还包括：对涂布于工件(21)的功能性液体进行干燥的加热器(7)；以及在利用喷墨头(1)对工件(21)的同一部位进行涂布动作之后，利用加热器(7)对所涂布的功能性液体进行干燥动作的控制部(2)。控制部(2)包括涂布工序设定部(2b)，该涂布工序设定部(2b)使涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。由此，能够提供将液滴涂布动作及液滴干燥动作作为一连串工序进行管理，能够得到所希望的涂布图案的液体涂布装置及液体涂布方法。