公开(公告)号：CN113514485B

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202110704200.5

申请日：2021-06-24

Applicant: 国合通用测试评价认证股份公司 ,  国标(北京)检验认证有限公司

Inventor： 韩小磊 ,  徐云培 ,  杜志伟 ,  李聪 ,  车聪 ,  付新 ,  李婷 ,  贾荣光 ,  何少卿 ,  彭永刚

IPC: G01N23/20008 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N1/34 ,  G01N1/36

Abstract: 本发明涉及一种钕铁硼电子背散射衍射分析样品的制备方法，属于扫描电镜样品制备技术领域。本发明通过金相镶样、机械研磨、机械抛光、振动抛光和样品清洗等步骤，制备出大区域高质量的样品。采用本方法制备的钕铁硼EBSD的样品，避免了样品在制样过程中被不均匀腐蚀或产生表面离子损伤，EBSD采集装置可以采集到高质量的菊池花样，从而获得样品准确的结构和取向信息；由于采用了镶样的方法制样，本方法对于样品的适用性较好，适用于从微米级粉体到厘米级块体的各种形态的NdFeB样品。本方法制样操作简单，可实施性强，成本低廉。